Вафельний вакуумний патрон

Надчисті керамічні компоненти Semicorex, які ідеально підходять для літографії нового покоління та роботи з пластинами, забезпечують мінімальне забруднення та надзвичайно тривалий термін служби. Наш вафельний вакуумний патрон має гарну цінову перевагу та охоплює багато європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

Ультраплоский керамічний вафельний вакуумний патрон Semicorex має покриття SiC високої чистоти, яке використовується в процесі обробки пластин. Вакуумний патрон для напівпровідникової пластини від обладнання MOCVD Зростання сполуки має високу термостійкість і стійкість до корозії, що має високу стабільність в екстремальних умовах, і покращує управління продуктивністю для обробки напівпровідникових пластин. Конфігурації з низьким контактом з поверхнею мінімізують ризик частинок із зворотного боку для чутливих застосувань.

У Semicorex ми зосереджені на забезпеченні високоякісних, економічно ефективних вафельних вакуумних патронів, ми надаємо пріоритет задоволенню клієнтів і пропонуємо економічно ефективні рішення. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером, пропонуючи високоякісні продукти та виняткове обслуговування клієнтів.

Параметри вафельного вакуумного патрона

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300