Альн -обігрівачі

Semicorex Aln нагрівачі для напівпровідника - це пристрій, що використовується для нагрівальних напівпровідникових матеріалів. Це в основному зроблено зАлюмінієва нітридна керамікаматеріал, має чудову теплопровідність та високу температуру, і може працювати стабільно при високих температурах. Нагрівач зазвичай використовує провід опору як нагрівальний елемент. Під напругою опору для нагрівання нагрівання, тепло переноситься на поверхню нагрівача для досягнення нагрівання напівпровідникового матеріалу. Альн -обігрівачі для напівпровідника відіграють важливу роль у процесі виробництва напівпровідників і можуть використовуватися в таких процесах, як зростання кристалів, відпал та випічка.

У процесі фронту (FEOL) напівпровідникового виробництва на пластині необхідно проводити різні обробки процесів, особливо нагрівання пластини до певної температури, і існують суворі вимоги, оскільки рівномірність температури має дуже важливий вплив на вихід продукту; У той же час напівпровідникове обладнання також повинно працювати в умовах, де існують вакуум, плазма та хімічні гази, що вимагає використання керамічних нагрівачів (керамічного нагрівача). Керамічні обігрівачі є важливими компонентами напівпровідникового обладнання з тонкою плівкою. Вони використовуються в технологічній камері і безпосередньо контактують з пластиною для перенесення та дозволу пластину для отримання стабільної та рівномірної температури процесу та реагування та генерування тонких плівок на поверхні вафлі з високою точністю.

Обладнання з тонкою плівкою для керамічних обігрівачів, як правило, використовує керамічні матеріали на основіАлюмінієвий нітрид (ALN)Через високі температури. Алюмінієвий нітрид має електричну ізоляцію та відмінну теплопровідність; Крім того, його коефіцієнт теплового розширення близький до кремнію, і він має відмінну опір у плазмі, що робить його дуже придатним для використання як компонент напівпровідникового пристрою.

Обігрівачі ALN включають керамічну основу, яка несе пластину, та циліндричне опорне тіло, яке підтримує її на спині. Всередині або на поверхні керамічної основи, крім елемента опору (нагрівальний шар) для нагрівання, також є RF -електрод (RF -шар). Для того, щоб досягти швидкого нагрівання та охолодження, товщина керамічної основи повинна бути тонкою, але занадто тонкою також знизить жорсткість. Опорне тіло обігрівачів ALN, як правило, виготовляється з матеріалу з коефіцієнтом теплового розширення, подібним до основи, тому організм опори часто також виготовляється з алюмінієвого нітриду. Обігрівачі ALN приймають унікальну структуру валу (валу) суглоба для захисту клем та проводів від впливу плазми та корозійних хімічних газів. У опорному корпусі надається вхід газу та випускної труби для забезпечення рівномірної температури нагрівача. Основа та опорний організм хімічно пов'язані з шаром зв’язку.

Елемент нагрівання опору закопується в основу нагрівача. Він утворюється за допомогою екранного друку з електропровідною пастою (вольфрам, молібденом або танталум), щоб утворити спіральний або концентричний кола схема кола. Звичайно, також можна використовувати металевий дріт, металеву сітку, металеву фольгу тощо. При використанні методу друку екрана готуються дві керамічні таблички однакової форми, а електропровідна паста наноситься на поверхню одного з них. Потім він спікається, утворюючи резистивний нагрівальний елемент, а інша керамічна пластина перекривається резистивним нагрівальним елементом, щоб зробити елемент резистора, закопаний в основі.

Основними факторами, що впливають на теплопровідність кераміки нітриду алюмінію, є щільність решітки, вміст кисню, чистота порошку, мікроструктура тощо, що вплине на теплопровідність кераміки нітриду алюмінію.