Електростатичний патрон ESC

Електростатичний патрон Semicorex ESC працює за принципом електростатичної адгезії, використовуючи постійний струм високої напруги (DC), що подається на його діелектричний керамічний шар. Ця технологія забезпечує надійне кріплення пластин або інших матеріалів під час обробки, забезпечуючи як стабільність, так і точність на різних етапах виготовлення.

Коли до патрона прикладається висока напруга постійного струму, заряджені іони в шарі керамічного діелектрика мігрують і накопичуються на його поверхні. Це створює сильне електростатичне поле між патроном і виробом, що обробляється. Створене електростатичне притягання достатньо міцне, щоб утримувати пластину на місці, гарантуючи, що вона залишається нерухомою навіть під час складних і високоточних операцій. Таке надійне утримання є критично важливим, оскільки воно допомагає зменшити мікрорухи та вібрацію, які можуть поставити під загрозу якість і цілісність оброблених пластин. Здатність закріпити пластини з мінімальним механічним контактом також запобігає фізичному пошкодженню, що є явною перевагою перед традиційними методами затискання.

Електростатичний патрон ESC типу J-R оснащений вбудованими електродами, які необхідні для створення цього електростатичного зчеплення. Ці електроди розташовані всередині патрона, щоб рівномірно розподілити електростатичну силу по поверхні пластини або інших матеріалів, що обробляються. Такий рівномірний розподіл забезпечує постійний тиск, необхідний для підтримки рівномірності під час складних процесів, таких як травлення, іонна імплантація та осадження. Точне зчеплення, яке пропонує Electrostatic Chuck ESC, дозволяє відповідати вимогам сучасного виготовлення напівпровідників.

На додаток до своєї основної функції адгезії, Electrostatic Chuck ESC має складну систему контролю температури. Патрон містить вбудовані нагрівальні елементи, призначені для регулювання температури продукту, що обробляється. Контроль температури є вирішальним фактором у виробництві напівпровідників, оскільки навіть незначні коливання температури можуть вплинути на результат процесу. Electrostatic Chuck ESC пропонує багатозонний контроль температури, що дозволяє нагрівати або охолоджувати різні секції пластини незалежно. Це гарантує стабільну підтримку температури по всій поверхні пластини, сприяючи рівномірним результатам обробки та знижуючи ризик термічного пошкодження або деформації.

Використання матеріалів високої чистоти в конструкції Electrostatic Chuck ESC є ще однією помітною особливістю. Матеріали, вибрані для цього патрона, розроблені таким чином, щоб звести до мінімуму забруднення частинками, що є критичною проблемою при виготовленні напівпровідників. Навіть дрібні частинки можуть спричинити дефекти у мікроструктурах, що виготовляються, що призведе до зниження виходу та потенційної несправності продукту. Завдяки використанню матеріалів високої чистоти Electrostatic Chuck ESC знижує ризик потрапляння забруднювачів у середовище обробки, таким чином підтримуючи високу якість виробництва.

Електростатичний патрон ESC є стійкістю до плазмової ерозії. У багатьох напівпровідникових процесах, особливо при травленні та осадженні, патрон піддається впливу реактивних плазмових середовищ. Згодом цей вплив може погіршити матеріали, використані в патроні, вплинувши на його продуктивність і термін служби. Electrostatic Chuck ESC спеціально розроблено для захисту від плазмової ерозії, що дозволяє йому зберігати свою структурну цілісність і продуктивність навіть у жорстких умовах обробки. Така довговічність означає довший термін служби, що зменшує потребу в частій заміні та мінімізує час простою виробничої лінії.

Механічні властивості Electrostatic Chuck ESC також мають вирішальне значення. Патрон виготовляється з надзвичайно жорсткими допусками, що гарантує збереження точної форми та розмірів, необхідних для його конкретних застосувань. Технології високоточної обробки використовуються для досягнення необхідної площинності та гладкості поверхні, які необхідні для забезпечення рівномірного електростатичного зчеплення та мінімізації ризику пошкодження делікатних пластин. Механічна міцність патрона настільки ж вражаюча, що дозволяє йому витримувати фізичні навантаження під час процесів високої температури та високого тиску, не деформуючись і не втрачаючи здатності надійно утримувати пластину.