Електростатичні патрони з нітриду алюмінію

Електростатичні патрони з нітриду алюмінію використовують електростатичні сили для надійного утримання пластин під час різних процесів виготовлення напівпровідників. Цей метод усуває потребу в механічних затискачах або вакуумних системах, зменшуючи ризик утворення часток і механічного навантаження на делікатні пластини. Однією з ключових переваг електростатичних патронів з нітриду алюмінію є їх здатність генерувати рівномірну та стабільну електростатичну силу по всій поверхні пластини. Це забезпечує послідовний контакт і запобігає ковзанню або деформації пластин під час обробки, що призводить до покращення однорідності нанесених плівок, витравлених елементів та інших критичних параметрів. Ця рівномірна сила затиску також мінімізує деформацію пластини, що призводить до покращення продуктивності пристрою та продуктивності.

Що стосується теплових властивостей, висока теплопровідність електростатичних патронів з нітриду алюмінію забезпечує ефективне розсіювання тепла під час високотемпературних процесів, запобігаючи термічному стресу та забезпечуючи рівномірний розподіл температури по пластині. Це критично важливо в таких програмах, як швидка термічна обробка та плазмове травлення, де локальне нагрівання може негативно вплинути на продуктивність пристрою. Крім того, процес виробництва напівпровідників часто передбачає швидкі температурні переходи. Висока стійкість електростатичних патронів з нітриду алюмінію до термічного удару дозволяє їм витримувати ці раптові зміни температури без деградації чи розтріскування, забезпечуючи довговічність і надійну роботу патрона протягом тривалого використання. Крім того, AlN має коефіцієнт теплового розширення (КТР), близький до коефіцієнта кремнієвих пластин. Ця сумісність мінімізує напругу, спричинену межею пластини та патрона під час термоциклування, запобігаючи вигину пластини, викривленню та потенційним дефектам, які можуть вплинути на продуктивність і продуктивність пристрою.

AlN є механічно міцним матеріалом з високою міцністю на вигин і тріщинністю. Ця властива міцність дозволяє електростатичним патронам з нітриду алюмінію витримувати механічні навантаження, які виникають під час великого виробництва, забезпечуючи постійну продуктивність і подовжений термін служби. З іншого боку, AlN демонструє чудову стійкість до широкого спектру хімічних речовин і плазми, які зазвичай використовуються в обробці напівпровідників. Він також демонструє чудову стійкість до окислення навіть при підвищених температурах, гарантуючи, що поверхня електростатичних патронів з нітриду алюмінію залишається незайманою та не забруднює протягом усього терміну експлуатації.

Електростатичні патрони з нітриду алюмінію Semicorex доступні в різних розмірах і товщинах, щоб відповідати різним діаметрам пластин і вимогам процесу. Ця здатність до адаптації робить їх придатними для широкого діапазону застосувань у виробництві напівпровідників, від досліджень і розробок до виробництва великих обсягів.