Керамічний патрон з нітриду алюмінію

Керамічний патрон з нітриду алюмінію представляє передове рішення для обробки напівпровідникових пластин, спеціально розроблене для надійного утримання пластин на різних етапах виробництва. Функціонуючи як електростатичний патрон (ESC), цей інноваційний пристрій використовує виняткові властивості кераміки з нітриду алюмінію для забезпечення точного та надійного утримання пластини.

Керамічний патрон із нітриду алюмінію Semicorex використовує електростатичні сили, щоб міцно затиснути пластину на її поверхні. Це досягається завдяки ретельно сконструйованій пластині з вбудованими електродами, які стратегічно зміщені високою напругою. У результаті між валиком і пластиною встановлюється електростатична утримуюча сила, яка ефективно фіксує пластину на місці на всіх етапах обробки.

Однією з видатних особливостей керамічного патрона з нітриду алюмінію є чудове поєднання високої теплопровідності та ізоляційних властивостей. Це унікальне поєднання характеристик робить його ідеальним вибором матеріалу для застосування ESC. Висока теплопровідність забезпечує ефективне розсіювання тепла, що має вирішальне значення для підтримки рівномірного розподілу температури по пластині під час обробки. Одночасно його виняткові ізоляційні властивості забезпечують електричну ізоляцію між патроном і пластиною, мінімізуючи ризик електричних перешкод або пошкодження чутливих напівпровідникових компонентів.

Керамічний патрон з нітриду алюмінію має кілька переваг перед традиційними матеріалами патрона. Його міцна конструкція забезпечує тривалу довговічність і здатність витримувати суворі вимоги середовищ виробництва напівпровідників. Крім того, його сумісність із високотемпературними процесами та стійкість до теплового розширення роблять його незамінним інструментом для досягнення стабільних і високоякісних результатів обробки пластин.