Алюмінієві нагрівачі нітриду

Нагрівачі нітриду алюмінію Semicorex-це найсучасніші керамічні нагрівальні елементи, розроблені для застосування, які вимагають високої теплопровідності, електричної ізоляції та виняткової довговічності. Ці обігрівачі, розроблені з кераміки нітриду алюмінію, забезпечують швидке та рівномірне нагрівання, що робить їх ідеальними для високоточних середовищ, таких як напівпровідникова обробка, медична діагностика та вдосконалені аналітичні прилади.

Алюмінієві нагрівачі нітриду є ключовими компонентами в напівпровідниковому обладнанні тонкої плівки. Вони безпосередньо застосовуються до технологічної камери та в прямому контакті з вафельною. Вони не тільки несуть пластину, але й гарантують, що пластина отримує 

стабільна і рівномірна температура процесу. Ця особливість є важливою для високоточних реакцій на поверхні вафель та генерації рівномірних тонких плівок.

Зазвичай нагрівачі нітриду алюмінію включають керамічну підкладку з поверхнею завантаження вафель та циліндричним опорним корпусом, який підтримує його на спині. Окрім резистивного нагрівального ланцюга для нагрівання, RF -електрод та електростатичний електрод та інші провідники також забезпечуються всередині або на поверхні керамічної підкладки.

Обладнання з тонкою плівкою зазвичай використовує керамічні матеріали на основіАлюмінієвий нітрид (ALN)тому що це передбачає високотемпературне середовище. Причина, чому обігрівачі нітриду з алюмінієвим нітридом надають перевагу у виробництві напівпровідників, головним чином, пов’язано з їх унікальними фізичними та хімічними властивостями. Алюмінієвий нітрид не тільки має високу теплопровідність і може досягти швидкого нагрівання та охолодження за короткий час, але й має хорошу електричну ізоляцію та механічну міцність, забезпечуючи стабільність та надійність нагрівача. Крім того, коефіцієнт теплового розширення нітриду алюмінію аналогічний коефіцієнтом кремнію, що допомагає зменшити вплив теплового напруження на пластину та покращити вихід процесу.

Взагалі,керамічні обігрівачів основному використовуються в обладнанні тонкої плівки. Оскільки він включає високотемпературні процеси, використовуваний керамічний матеріал в основному є нітридом алюмінію; Електростатичні штроми в основному використовуються в обладнанні травлення, а використовується керамічний матеріал в основному оксид алюмінію. З розвитком напівпровідникової технології між керамічними обігрівачами та електростатичними вражами відбувається перекриття. Наприклад, керамічні обігрівачі, що використовуються в обладнанні тонкої плівки осадження, оснащені електростатичними шрифтами, які мають подвійні функції високотемпературного нагрівання та електростатичної адсорбції. Електростатичні залози, що використовуються в обладнанні травлення, також починають включати високотемпературні процеси, а керамічний матеріал повинен бути змінений від оксиду алюмінію до нітриду алюмінію.