Стовбурна структура напівпровідникового епітаксіального реактора

Стовбурна структура Semicorex для напівпровідникового епітаксіального реактора є найкращим вибором для застосування високопродуктивних графітових токоприймачів, які вимагають виняткової термостійкості та стійкості до корозії. Його високочисте покриття SiC, чудова щільність і теплопровідність забезпечують чудові властивості захисту та розподілу тепла, забезпечуючи надійну та стабільну роботу навіть у найскладніших умовах.

Наша стовбурна структура для напівпровідникового епітаксіального реактора розроблена для досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу, забезпечуючи рівномірність теплового профілю. Це допомагає запобігти будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини.

Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про нашу бочкоподібну структуру для напівпровідникового епітаксіального реактора.

Параметри стовбурної структури напівпровідникового епітаксіального реактора

Особливості бочкоподібної конструкції напівпровідникового епітаксіального реактора

- Графітова підкладка та шар карбіду кремнію мають хорошу щільність і можуть відігравати хорошу захисну роль у високотемпературних та корозійних робочих середовищах.

- Сусцептор з покриттям з карбіду кремнію, який використовується для вирощування монокристалів, має дуже високу площинність поверхні.

- Зменшити різницю в коефіцієнті теплового розширення між графітовою підкладкою та шаром карбіду кремнію, ефективно підвищити міцність з’єднання, щоб запобігти розтріскуванням і відшаруванням.

- Як графітова підкладка, так і шар карбіду кремнію мають високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.

- Висока температура плавлення, стійкість до окислення при високій температурі, стійкість до корозії.