Труба дифузійної печі

Труба дифузійної печі зазвичай виготовляється з високочистого кварцу або SiC, обидва з яких виявляють виняткову термічну стабільність і стійкість до хімічних реакцій. Це важливо, оскільки труба дифузійної печі не повинна вносити домішки в напівпровідникові матеріали, що обробляються. Навіть найменші домішки можуть мати значний шкідливий вплив на продуктивність і надійність виготовлених напівпровідникових пристроїв.

Матеріали, які використовуються для виготовлення труби дифузійної печі, вибираються через їх високу чистоту, щоб запобігти забрудненню напівпровідникових пластин під час обробки. Труба дифузійної печі витримує екстремальні температури, що виникають під час обробки напівпровідників, не деформуючи та не порушуючи її структурну цілісність. Це забезпечує постійну та надійну роботу протягом тривалих періодів експлуатації. На додаток до термічної стабільності, труба дифузійної печі також виявляє стійкість до корозійного впливу хімікатів і газів, які використовуються при обробці напівпровідників. Це запобігає деградації трубки з часом і забезпечує довговічність.

Деякі труби дифузійних печей можуть мати вкладиші, виготовлені зі спеціалізованих матеріалів, щоб ще більше підвищити їх продуктивність або забезпечити додатковий захист від забруднення чи хімічних реакцій. Ці вкладиші ретельно підбираються, щоб доповнити властивості матеріалу трубки та специфічні вимоги процесу виготовлення напівпровідників.