Несуча пластина ICP Etching Carrier Plate від Semicorex є ідеальним рішенням для вимогливої обробки пластин і процесів осадження тонкої плівки. Наш продукт забезпечує чудову термостійкість і стійкість до корозії, рівномірну термічну однорідність і ламінарну структуру потоку газу. Завдяки чистій і гладкій поверхні наш носій ідеально підходить для обробки незайманих вафель.
ICP Etching Carrier Plate від Semicorex забезпечує відмінну міцність і довговічність для обробки пластин і процесів нанесення тонкої плівки. Наш продукт може похвалитися чудовою термостійкістю та стійкістю до корозії, рівномірною термічною однорідністю та ламінарним потоком газу. Завдяки чистій і гладкій поверхні наш носій забезпечує оптимальну обробку незайманих вафель. Витримує високу температуру, хімічне очищення, а також високу термічну однорідність.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про нашу несучу пластину для травлення ICP.
Параметри несучої пластини для травлення ICP
Основні характеристики покриття CVD-SIC |
||
Властивості SiC-CVD |
||
Кристалічна структура |
FCC β фаза |
|
Щільність |
г/см³ |
3.21 |
Твердість |
Твердість за Віккерсом |
2500 |
Розмір зерна |
мкм |
2~10 |
Хімічна чистота |
% |
99.99995 |
Теплоємність |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Температура сублімації |
℃ |
2700 |
Згинальна сила |
МПа (RT 4 точки) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃) |
430 |
Теплове розширення (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопровідність |
(Вт/мК) |
300 |
Особливості ICP Etching Carrier Plate
- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні
Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C
Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.
Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.
Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу
- Гарантія рівності теплового профілю
- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок