Продукти
ICP Etching Carrier Plate

ICP Etching Carrier Plate

Несуча пластина ICP Etching Carrier Plate від Semicorex є ідеальним рішенням для вимогливої ​​обробки пластин і процесів осадження тонкої плівки. Наш продукт забезпечує чудову термостійкість і стійкість до корозії, рівномірну термічну однорідність і ламінарну структуру потоку газу. Завдяки чистій і гладкій поверхні наш носій ідеально підходить для обробки незайманих вафель.

Надіслати запит

Опис продукту

ICP Etching Carrier Plate від Semicorex забезпечує відмінну міцність і довговічність для обробки пластин і процесів нанесення тонкої плівки. Наш продукт може похвалитися чудовою термостійкістю та стійкістю до корозії, рівномірною термічною однорідністю та ламінарним потоком газу. Завдяки чистій і гладкій поверхні наш носій забезпечує оптимальну обробку незайманих вафель. Витримує високу температуру, хімічне очищення, а також високу термічну однорідність.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про нашу несучу пластину для травлення ICP.


Параметри несучої пластини для травлення ICP

Основні характеристики покриття CVD-SIC

Властивості SiC-CVD

Кристалічна структура

FCC β фаза

Щільність

г/см³

3.21

Твердість

Твердість за Віккерсом

2500

Розмір зерна

мкм

2~10

Хімічна чистота

%

99.99995

Теплоємність

Дж кг-1 К-1

640

Температура сублімації

2700

Згинальна сила

МПа (RT 4 точки)

415

Модуль Юнга

Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)

430

Теплове розширення (C.T.E)

10-6К-1

4.5

Теплопровідність

(Вт/мК)

300


Особливості ICP Etching Carrier Plate

- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні

Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C

Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.

Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.

Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.

- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу

- Гарантія рівності теплового профілю

- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок





Гарячі теги: ICP Etching Carrier Plate, Китай, Виробники, Постачальники, Фабрика, Індивідуальні, Масові, Розширені, Міцні
Пов'язана категорія
Надіслати запит
Будь ласка, надішліть свій запит у формі нижче. Ми відповімо вам протягом 24 годин.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept