Виберіть систему плазмового травлення Semicorex ICP для процесу PSS для високоякісних процесів епітаксії та MOCVD. Наш продукт розроблений спеціально для цих процесів, пропонуючи чудову термостійкість і стійкість до корозії. Завдяки чистій і гладкій поверхні наш носій ідеально підходить для обробки незайманих вафель.
Система плазмового травлення ICP від Semicorex для процесу PSS забезпечує чудову термостійкість і стійкість до корозії для обробки пластин і процесів осадження тонкої плівки. Наше тонке кристалічне покриття SiC забезпечує чисту та гладку поверхню, забезпечуючи оптимальне поводження з незайманими пластинами.
У Semicorex ми зосереджені на забезпеченні високоякісних, економічно ефективних продуктів для наших клієнтів. Наша система плазмового травлення ICP для процесу PSS має цінову перевагу та експортується на багато європейських та американських ринків. Ми прагнемо бути вашим довгостроковим партнером, пропонуючи продукти незмінної якості та виняткове обслуговування клієнтів.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про нашу систему плазмового травлення ICP для процесу PSS.
Параметри системи плазмового травлення ICP для процесу PSS
Основні характеристики покриття CVD-SIC |
||
Властивості SiC-CVD |
||
Кристалічна структура |
FCC β фаза |
|
Щільність |
г/см³ |
3.21 |
Твердість |
Твердість за Віккерсом |
2500 |
Розмір зерна |
мкм |
2~10 |
Хімічна чистота |
% |
99.99995 |
Теплоємність |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Температура сублімації |
℃ |
2700 |
Згинальна сила |
МПа (RT 4 точки) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃) |
430 |
Теплове розширення (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопровідність |
(Вт/мК) |
300 |
Особливості системи плазмового травлення ICP для процесу PSS
- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні
Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C
Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.
Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.
Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу
- Гарантія рівності теплового профілю
- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок