ICP Silicon Carbon Coated Graphite

Вафельні носії, які використовуються для епітаксійної обробки, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення. Semicorex ICP Silicon Carbon Coated Graphite токоприймачі розроблені спеціально для цих вимогливих додатків обладнання для епітаксії. Наш продукт розроблено таким чином, щоб витримувати високі температури та агресивне хімічне очищення, забезпечуючи довговічність і оптимальні результати.
Наш ICP Silicon Carbon Coated Graphite розроблений для досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу, забезпечуючи рівномірність теплового профілю. Це допомагає запобігти будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш ICP Silicon Carbon Coated Graphite.

Параметри ICP Silicon Carbon Coated Graphite

Особливості ICP Silicon Carbon Coated Graphite

- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні

Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C

Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.

Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.

Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.

- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу

- Гарантія рівності теплового профілю

- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок