Носій ICP для травлення з покриттям SiC

Вафельні носії, які використовуються на етапах осадження тонких плівок, таких як епітаксія чи MOCVD, або обробки пластин, таких як травлення, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення. Semicorex постачає ICP Etching Carrier високої чистоти з SiC покриттям, що забезпечує чудову термостійкість, рівномірну термічну однорідність для стабільної товщини епі шару та стійкості, а також довговічну хімічну стійкість. Тонке кристалічне покриття SiC забезпечує чисту, гладку поверхню, що має важливе значення для роботи, оскільки незаймані пластини контактують із сенсором у багатьох точках по всій площі.

Наш ICP Etching Carrier із покриттям SiC розроблено для досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу, забезпечуючи рівномірність теплового профілю. Це допомагає запобігти будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини.

Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш носій ICP для травлення з SiC покриттям.

Параметри носія ICP для травлення з SiC

Характеристики ICP-носія для травлення ICP високої чистоти

- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні

Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C

Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.

Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.

Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.

- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу

- Гарантія рівності теплового профілю

- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок