Плата для плазмового травлення ICP від Semicorex забезпечує чудову термостійкість і стійкість до корозії для обробки пластин і процесів осадження тонкої плівки. Наш продукт розроблено таким чином, щоб витримувати високі температури та агресивне хімічне очищення, забезпечуючи міцність і довговічність. Завдяки чистій і гладкій поверхні наш носій ідеально підходить для обробки незайманих вафель.
Коли справа доходить до нанесення тонкої плівки та роботи з пластинами, довіртеся ICP Plasma Etching Plate від Semicorex. Наш продукт забезпечує чудову термостійкість і стійкість до корозії, рівномірну термічну однорідність і оптимальні ламінарні структури газового потоку. Завдяки чистій і гладкій поверхні наш носій ідеально підходить для обробки незайманих вафель.
Наша пластина для плазмового травлення ICP розроблена для досягнення найкращої моделі ламінарного потоку газу, забезпечуючи рівномірність теплового профілю. Це допомагає запобігти будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про нашу пластину для плазмового травлення ICP.
Параметри ICP Plasma Etching Plate
Основні характеристики покриття CVD-SIC |
||
Властивості SiC-CVD |
||
Кристалічна структура |
FCC β фаза |
|
Щільність |
г/см³ |
3.21 |
Твердість |
Твердість за Віккерсом |
2500 |
Розмір зерна |
мкм |
2~10 |
Хімічна чистота |
% |
99.99995 |
Теплоємність |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Температура сублімації |
℃ |
2700 |
Згинальна сила |
МПа (RT 4 точки) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃) |
430 |
Теплове розширення (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопровідність |
(Вт/мК) |
300 |
Особливості ICP Plasma Etching Plate
- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні
Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C
Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.
Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.
Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу
- Гарантія рівності теплового профілю
- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок