Тримач пластин для процесу ICP травлення

Тримач пластин Semicorex для процесу ICP Etching є ідеальним вибором для вимогливих процесів обробки пластин і нанесення тонких плівок. Наш продукт може похвалитися чудовою термостійкістю та стійкістю до корозії, рівномірною термічною однорідністю та оптимальними ламінарними структурами потоку газу для стабільних і надійних результатів.

Надіслати запит

Опис продукту

Виберіть тримач для пластин Semicorex для процесу ICP Etching для надійної та стабільної роботи під час обробки пластин і процесів осадження тонкої плівки. Наш продукт має стійкість до високотемпературного окислення, високу чистоту та корозійну стійкість до кислот, лугів, солі та органічних реагентів.
Наш тримач пластин для процесу ICP Etching розроблено для досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу, забезпечуючи рівномірність теплового профілю. Це допомагає запобігти будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш тримач пластин для процесу ICP травлення.

Параметри тримача пластин для процесу ICP травлення

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300