додому > Продукти > Покриття з карбіду кремнію > ICP Etching Carrier > Індуктивно-зв'язана плазма (ICP)

Продукти

Індуктивно-зв'язана плазма (ICP)

Індуктивно-зв'язана плазма (ICP)

Токоприймач із покриттям із карбіду кремнію Semicorex для індуктивно-зв’язаної плазми (ICP) розроблений спеціально для процесів обробки високотемпературних пластин, таких як епітаксія та MOCVD. Завдяки стабільній високотемпературній стійкості до окислення до 1600°C, наші носії забезпечують рівномірні термічні профілі, ламінарні схеми потоку газу та запобігають забрудненню або дифузії домішок.

Надіслати запит

Опис продукту

Потрібен носій для пластин, здатний витримати високу температуру та агресивне хімічне середовище? Не дивіться далі, ніж чутливий елемент із покриттям із карбіду кремнію Semicorex для індуктивно-зв’язаної плазми (ICP). Наші носії мають тонке кристалічне покриття SiC, яке забезпечує чудову термостійкість, рівномірну теплову однорідність і тривалу хімічну стійкість.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш кремнієвий приймач для індуктивно-зв’язаної плазми (ICP).


Параметри сенсора для індуктивно-зв'язаної плазми (ICP)

Основні характеристики покриття CVD-SIC

Властивості SiC-CVD

Кристалічна структура

FCC β фаза

Щільність

г/см³

3.21

Твердість

Твердість за Віккерсом

2500

Розмір зерна

μm

2~10

Хімічна чистота

%

99.99995

Теплоємність

Дж·кг-1 ·К-1

640

Температура сублімації

2700

Згинальна сила

МПа (RT 4 точки)

415

Модуль Юнга

Gpa (вигин 4 точки, 1300 °)

430

Теплове розширення (C.T.E)

10-6К-1

4.5

Теплопровідність

(Вт/мК)

300


Особливості чутливого елемента з покриттям з карбіду кремнію для індуктивно-зв’язаної плазми (ICP)

- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні

Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C

Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.

Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.

Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.

- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу

- Гарантія рівності теплового профілю

- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок





Гарячі теги: Плазма з індуктивним зв’язком (ICP), Китай, Виробники, Постачальники, Фабрика, Індивідуальний, Масовий, Розширений, Міцний

Пов'язана категорія

Надіслати запит

Будь ласка, надішліть свій запит у формі нижче. Ми відповімо вам протягом 24 годин.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept