Продукти

Несуча пластина RTP з покриттям Semicorex SiC для епітаксіального росту є ідеальним рішенням для обробки напівпровідникових пластин. Завдяки високоякісним вугільно-графітовим приймачам і кварцовим тиглям, обробленим MOCVD на поверхні графіту, кераміки тощо, цей продукт ідеально підходить для роботи з пластинами та епітаксійної обробки. Носій з покриттям SiC забезпечує високу теплопровідність і чудові властивості розподілу тепла, що робить його надійним вибором для RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.

Semicorex є великомасштабним виробником і постачальником графітових токоприймачів із покриттям з карбіду кремнію в Китаї. Графітова опора Semicorex, розроблена спеціально для обладнання для епітаксії з високою термостійкістю та стійкістю до корозії в Китаї. Наш RTP RTA SiC Coated Carrier має гарну цінову перевагу та покриває багато європейських та американських ринків. Ми сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером.

Компонент ICP із SiC-покриттям Semicorex розроблено спеціально для процесів обробки високотемпературних пластин, таких як епітаксія та MOCVD. Завдяки тонкому кристалічному покриттю SiC наші носії забезпечують чудову термостійкість, рівномірну теплову однорідність і тривалу хімічну стійкість.

Коли мова йде про процеси обробки пластин, такі як епітаксія та MOCVD, високотемпературне покриття SiC від Semicorex для камер плазмового травлення є найкращим вибором. Наші носії забезпечують чудову термостійкість, рівномірну термічну однорідність і тривалу хімічну стійкість завдяки нашому тонкому кристалічному покриттю SiC.

Пластина SiC від Semicorex для процесу травлення ICP є ідеальним рішенням для вимог високотемпературної та жорсткої хімічної обробки під час осадження тонких плівок і роботи з пластинами. Наш продукт може похвалитися чудовою термостійкістю та рівномірною термічною рівномірністю, що забезпечує постійну товщину та стійкість епі-шару. Завдяки чистій і гладкій поверхні наше кристалічне покриття SiC високої чистоти забезпечує оптимальне використання чистих пластин.

ICP Etching Carrier із покриттям Semicorex SiC, розроблений спеціально для обладнання для епітаксії з високою термостійкістю та стійкістю до корозії в Китаї. Наші продукти мають гарну цінову перевагу та охоплюють багато європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.