Компонент ICP із SiC-покриттям від Semicorex розроблено спеціально для процесів обробки високотемпературних пластин, таких як епітаксія та MOCVD. Завдяки тонкому кристалічному покриттю SiC наші носії забезпечують чудову термостійкість, рівномірну теплову однорідність і тривалу хімічну стійкість.
Компонент ICP із покриттям SiC від Semicorex є найкращим вибором для процесів обробки пластин, які потребують стійкості до високих температур і хімічних речовин. Наші носії забезпечують рівномірні теплові профілі, ламінарні схеми потоку газу та запобігають забрудненню або дифузії домішок завдяки нашому тонкому кристалу SiC. Завдяки тонкому кристалічному покриттю SiC наші носії забезпечують чудову термостійкість, рівномірну теплову однорідність і тривалу хімічну стійкість.
У Semicorex ми зосереджені на забезпеченні високоякісних, економічно ефективних продуктів для наших клієнтів. Наш ICP-компонент із SiC-покриттям має цінову перевагу та експортується на багато європейських та американських ринків. Ми прагнемо бути вашим довгостроковим партнером, пропонуючи продукти незмінної якості та виняткове обслуговування клієнтів.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш компонент ICP із покриттям SiC.
Параметри ICP-компонента з SiC-покриттям
Основні характеристики покриття CVD-SIC |
||
Властивості SiC-CVD |
||
Кристалічна структура |
FCC β фаза |
|
Щільність |
г/см³ |
3.21 |
Твердість |
Твердість за Віккерсом |
2500 |
Розмір зерна |
μm |
2~10 |
Хімічна чистота |
% |
99.99995 |
Теплоємність |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Температура сублімації |
℃ |
2700 |
Згинальна сила |
МПа (RT 4 точки) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (вигин 4 точки, 1300 °) |
430 |
Теплове розширення (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопровідність |
(Вт/мК) |
300 |
Особливості ICP-компонента з SiC-покриттям
- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні
Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C
Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.
Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.
Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу
- Гарантія рівності теплового профілю
- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок