Носій Semicorex RTP покритий карбідом кремнію за допомогою процесу хімічного осадження з парової фази (CVD), який є дійсно стабільним для RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення. В основі напівпровідникового процесу, епітаксійні рецептори, спочатку піддаються впливу середовища осадження, тому він має високу термостійкість і стійкість до корозії. Носій, покритий SiC, також має високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.
● Високочистий графіт із покриттям SiC
● Чудова термостійкість і хімічна стійкість
● Висока теплова однорідність
● Відмінна зносостійкість
Несуча пластина RTP з покриттям Semicorex SiC для епітаксіального росту є ідеальним рішенням для обробки напівпровідникових пластин. Завдяки високоякісним вугільно-графітовим приймачам і кварцовим тиглям, обробленим MOCVD на поверхні графіту, кераміки тощо, цей продукт ідеально підходить для роботи з пластинами та епітаксійної обробки. Носій з покриттям SiC забезпечує високу теплопровідність і чудові властивості розподілу тепла, що робить його надійним вибором для RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex є великомасштабним виробником і постачальником графітових токоприймачів із покриттям з карбіду кремнію в Китаї. Графітова опора Semicorex, розроблена спеціально для обладнання для епітаксії з високою термостійкістю та стійкістю до корозії в Китаї. Наш RTP RTA SiC Coated Carrier має гарну цінову перевагу та покриває багато європейських та американських ринків. Ми сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex RTP Carrier for MOCVD Epitaxial Growth ідеально підходить для обробки напівпровідникових пластин, включаючи епітаксійне зростання та обробку обробки пластин. Вуглеграфітові токоприймачі та кварцові тиглі обробляються MOCVD на поверхні графіту, кераміки тощо. Наша продукція має хорошу цінову перевагу та охоплює багато європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запит