Кремнієві вигнуті електроди

Під час сучасного обладнання для травлення кремнієвий вигнутий електрод зазвичай встановлюється у верхній частині камери травлення, звернений до напівпровідникової пластини. Кремнієвий вигнутий електрод зазвичай працює в поєднанні з електростатичним патроном, кремнієвим фокусним кільцем, кремнієвим краєвим кільцем, кремнієвим випускним кільцем і кремнієвим екрануючим кільцем, щоб забезпечити оптимальні робочі умови для високоточного травлення.

Функції кремнієвих вигнутих електродів Semicorex

1. Сумісний із складним тривимірним травленням структури

З винятковою можливістю 3D контролю електричного поля, Semicorexкремнієві вигнуті електродиможе ідеально відповідати геометричним характеристикам складних конструкцій. Спеціальна вигнута конструкція забезпечує точний контроль плазми та оптимізований розподіл енергії, що суттєво впливає на співвідношення сторін і вертикальність бічних стінок 3D-травлення структури та повністю відповідає вимогам виробничої лінії передових процесів пакування та інтеграції 3D IC.

2. Точний контроль розподілу травильного газу

Кремнієві вигнуті електроди Semicorex мають численні рівномірно розподілені мікроотвори на своїй поверхні для надходження травильного газу в камеру травлення. Кремнієві вигнуті електроди Semicorex можуть досягти точного контролю газу для травлення та його рівномірного розподілу в камері для травлення, таким чином мінімізуючи варіації процесу, викликані нерівномірним розподілом газу.

Переваги кремнієвих вигнутих електродів Semicorex

1. Надвисока чистота

Кремнієві вигнуті електроди Semicorex виготовлені з монокристала надвисокої чистотикремнійз рівнем чистоти вище 99,9999999%, забезпечуючи чудову стійкість до плазмової ерозії. Цей високоякісний вибір матеріалу може ефективно уникнути небажаного забруднення в результаті травлення, а також значно подовжити термін служби кремнієвих вигнутих електродів.

2. Відмінні електричні властивості

Виготовлені з монокристалічного кремнію, вирощеного в MCZ, кремнієві вигнуті електроди Semicorex демонструють чудову однорідність питомого опору: <5% і широкий вибірковий діапазон питомого опору: низька роздільна здатність. (<0,02), середня рез. (1–4) та високої роздільної здатності. (70–90).

3. Точність обробки

Завдяки високоточній механічній обробці кремнієві вигнуті електроди Semicorex досягають постійного розміру пор і рівномірного розподілу отворів. Їх поверхні добре відшліфовані та відшліфовані: поліровані (Ra < 0,1 мкм) і відшліфовані (Ra < 1,6 мкм), із загальною точністю обробки в межах 0,03 мм.