Як професійний виробник, ми хотіли б надати вам напівпровідникові компоненти. Semicorex — ваш партнер у вдосконаленні обробки напівпровідників. Наші покриття з карбіду кремнію є щільними, стійкими до високих температур і хімікатів, які часто використовуються в усьому циклі виробництва напівпровідників, включаючи напівпровідникові пластини, обробку пластин і виготовлення напівпровідників.
Компоненти високої чистоти з покриттям SiC мають вирішальне значення для процесів у напівпровіднику. Наша пропозиція варіюється від графітових витратних матеріалів для гарячих зон вирощування кристалів (нагрівачі, тигельні датчики, ізоляція) до високоточних графітових компонентів для обладнання для обробки пластин, таких як графітові датчики з покриттям з карбіду кремнію для епітаксії або MOCVD.
Переваги для напівпровідникових процесів
Фази осадження тонкої плівки, такі як епітаксія або MOCVD, або обробка пластин, наприклад травлення чи іонна імплантація, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення. Semicorex постачає графітову конструкцію з покриттям з карбіду кремнію (SiC) високої чистоти, яка забезпечує чудову термостійкість і довговічну хімічну стійкість, рівномірну термічну однорідність для сталої товщини і стійкості епі шару.
Кришки камери â
Кришки камер, які використовуються для вирощування кристалів і обробки пластин, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення.
Кінцевий ефектор â
Кінцевий ефектор — це рука робота, яка переміщує напівпровідникові пластини між позиціями в обладнанні для обробки пластин і носіями.
Вхідні кільця â
Газове впускне кільце з покриттям SiC за допомогою обладнання MOCVD Зростання сполуки має високу стійкість до тепла та корозії, що має високу стабільність у екстремальних умовах.
Кільце фокусування â
Semicorex постачає кільце фокусування з покриттям з карбіду кремнію, яке дійсно стійке до RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
Вафельний патрон â
Ультраплоскі керамічні вакуумні вафельні патрони Semicorex мають покриття SiC високої чистоти, яке використовується в процесі обробки пластин.
Технологічна трубка Semicorex для дифузійних печей є спеціалізованим компонентом, який використовується у виробництві напівпровідникових приладів. Він призначений для забезпечення контрольованого середовища для процесів дифузії, коли домішки вводяться в напівпровідникові пластини для зміни їхніх електричних властивостей. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитSiC Process Tube – це трубчастий реактор для термічної обробки для обробки пластин. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитДушова насадка Semicorex CVD-SiC забезпечує довговічність, чудове управління температурою та стійкість до хімічного розкладання, що робить її підходящим вибором для вимогливих процесів CVD у напівпровідниковій промисловості. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитУ плазмовому апараті для травлення та хімічного осадження з парової фази (CVD) матеріалів на пластинах технологічні гази подаються в технологічну камеру через графітову насадку з CVD SiC покриттям. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитКонсольна пластина з карбіду кремнію Semicorex — це спеціалізований компонент, який використовується в печах для різних застосувань термічної обробки. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитКерамічна консольна лопатка карбіду кремнію SiC із великим зусиллям навантаження на пластину підходить для автоматичної системи завантаження та транспортування роботів, оскільки вона має стабільну продуктивність, не деформується при високій температурі та має велику силу навантаження на пластину. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запит