Китай Напівпровідникові компоненти Виробники, постачальники, фабрика

Як професійний виробник, ми хотіли б надати вам напівпровідникові компоненти. Semicorex — ваш партнер у вдосконаленні обробки напівпровідників. Наші покриття з карбіду кремнію є щільними, стійкими до високих температур і хімікатів, які часто використовуються в усьому циклі виробництва напівпровідників, включаючи напівпровідникові пластини, обробку пластин і виготовлення напівпровідників.

Високочисті компоненти з покриттям SiC мають вирішальне значення для процесів у напівпровіднику. Наша пропозиція варіюється від графітових витратних матеріалів для гарячих зон вирощування кристалів (нагрівачі, електроприймачі для тиглів, ізоляція) до високоточних графітових компонентів для обладнання для обробки пластин, таких як покриті карбідом кремнію графітові приймачі для епітаксії або MOCVD.

Переваги для напівпровідникових процесів

Фази осадження тонкої плівки, такі як епітаксія або MOCVD, або обробка пластин, наприклад травлення чи іонна імплантація, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення. Semicorex постачає графітову конструкцію з покриттям з карбіду кремнію (SiC) високої чистоти, яка забезпечує чудову термостійкість і довговічну хімічну стійкість, рівномірну термічну однорідність для стабільної товщини і стійкості епі шару.

Кришки камери →
Кришки камер, які використовуються для вирощування кристалів і обробки пластин, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення.

Кінцевий ефект →
Кінцевий ефектор — це рука робота, яка переміщує напівпровідникові пластини між позиціями в обладнанні для обробки пластин і носіями.

Впускні кільця →
Газове вхідне кільце з покриттям SiC за допомогою обладнання MOCVD Зростання сполуки має високу стійкість до тепла та корозії, що має високу стабільність у екстремальних умовах.

Кільце фокусування →
Semicorex постачає кільце фокусування з покриттям з карбіду кремнію, яке дійсно стійке до RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.

Вафельний патрон →
Ультраплоскі керамічні вакуумні вафельні патрони Semicorex мають покриття SiC високої чистоти, яке використовується в процесі обробки пластин.