Як професійний виробник, ми хотіли б надати вам напівпровідникові компоненти. Semicorex — ваш партнер у вдосконаленні обробки напівпровідників. Наші покриття з карбіду кремнію є щільними, стійкими до високих температур і хімікатів, які часто використовуються в усьому циклі виробництва напівпровідників, включаючи напівпровідникові пластини, обробку пластин і виготовлення напівпровідників.
Компоненти високої чистоти з покриттям SiC мають вирішальне значення для процесів у напівпровіднику. Наша пропозиція варіюється від графітових витратних матеріалів для гарячих зон вирощування кристалів (нагрівачі, тигельні датчики, ізоляція) до високоточних графітових компонентів для обладнання для обробки пластин, таких як графітові датчики з покриттям з карбіду кремнію для епітаксії або MOCVD.
Переваги для напівпровідникових процесів
Фази осадження тонкої плівки, такі як епітаксія або MOCVD, або обробка пластин, наприклад травлення чи іонна імплантація, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення. Semicorex постачає графітову конструкцію з покриттям з карбіду кремнію (SiC) високої чистоти, яка забезпечує чудову термостійкість і довговічну хімічну стійкість, рівномірну термічну однорідність для сталої товщини і стійкості епі шару.
Кришки камери â
Кришки камер, які використовуються для вирощування кристалів і обробки пластин, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення.
Кінцевий ефектор â
Кінцевий ефектор — це рука робота, яка переміщує напівпровідникові пластини між позиціями в обладнанні для обробки пластин і носіями.
Вхідні кільця â
Газове впускне кільце з покриттям SiC за допомогою обладнання MOCVD Зростання сполуки має високу стійкість до тепла та корозії, що має високу стабільність у екстремальних умовах.
Кільце фокусування â
Semicorex постачає кільце фокусування з покриттям з карбіду кремнію, яке дійсно стійке до RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
Вафельний патрон â
Ультраплоскі керамічні вакуумні вафельні патрони Semicorex мають покриття SiC високої чистоти, яке використовується в процесі обробки пластин.
Запасні частини Semicorex для епітаксійного вирощування є ключовими компонентами, які використовуються в системах епітаксійного вирощування, особливо в процесах із застосуванням кварцових трубок. Ці деталі відіграють важливу роль у полегшенні потоку газу для обертання основи лотка та забезпечують точний контроль температури протягом усього процесу епітаксійного росту. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex SiC Wafer Transfer Hand є наріжним каменем автоматизації процесу виробництва напівпровідників, слугуючи складним роботизованим інструментом для точного й ефективного поводження з напівпровідниковими пластинами. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex SiC Finger є ключовим компонентом обробки напівпровідників і працює як інструмент для перенесення пластин. Цей спеціальний пристрій, який має форму пальця, ретельно виготовлено з карбіду кремнію (SiC), матеріалу, відомого своєю винятковою механічною міцністю, термічною стабільністю та стійкістю до агресивних хімічних середовищ. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитТехнологічна трубка з карбіду кремнію Semicorex — це важливий компонент у сфері виробництва напівпровідників, спеціально розроблений для використання у вертикальних печах, що використовуються в різних програмах обробки напівпровідників, таких як RTP, дифузія. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex Robot Hand, ключовий компонент у печі для хімічного осадження з парової фази органічних металів (MOCVD), є свідченням точного машинобудування та передового матеріалу. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитВідкрийте для себе втілення продуктивності та довговічності в області напівпровідникового обладнання за допомогою нашої передової кришки кришки з графітового покриття SiC. Цей дископодібний компонент спеціально розроблено для різних застосувань у напівпровідниках, пропонуючи унікальне поєднання графіту та покриття з карбіду кремнію (SiC) для підвищення функціональності та ефективності. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запит