Ви можете бути впевнені, купуючи напівпровідниковий пластинчастий носій для обладнання MOCVD на нашому заводі. Носії напівпровідникових пластин є важливим компонентом обладнання MOCVD. Вони використовуються для транспортування та захисту напівпровідникових пластин під час виробничого процесу. Носії напівпровідникових пластин для обладнання MOCVD виготовляються з матеріалів високої чистоти та призначені для збереження цілісності пластин під час обробки.
наш носій напівпровідникової пластини для обладнання MOCVD є важливим компонентом процесу виробництва напівпровідників. Він виготовлений з високочистого графіту з покриттям з карбіду кремнію методом CVD і призначений для розміщення декількох пластин. Перевізник пропонує кілька переваг, включаючи покращену врожайність, підвищену продуктивність, зменшення забруднення, підвищену безпеку та економічну ефективність. Якщо ви шукаєте надійний і високоякісний носій напівпровідникової пластини для обладнання MOCVD, наш продукт є ідеальним рішенням.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш напівпровідниковий пластинчастий носій для обладнання MOCVD.
Параметри напівпровідникового пластинчастого носія для обладнання MOCVD
Основні характеристики покриття CVD-SIC |
||
Властивості SiC-CVD |
||
Кристалічна структура |
FCC β фаза |
|
Щільність |
г/см³ |
3.21 |
Твердість |
Твердість за Віккерсом |
2500 |
Розмір зерна |
мкм |
2~10 |
Хімічна чистота |
% |
99.99995 |
Теплоємність |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Температура сублімації |
℃ |
2700 |
Згинальна сила |
МПа (RT 4 точки) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃) |
430 |
Теплове розширення (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопровідність |
(Вт/мК) |
300 |
Особливості графітового чутливого елемента з покриттям SiC для MOCVD
- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні
Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C
Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.
Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.
Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу
- Гарантія рівності теплового профілю
- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок