Напівпровідниковий вафельний патрон

Удосконалені високочисті компоненти з покриттям з карбіду кремнію Semicorex розроблені таким чином, щоб витримувати екстремальні навколишні умови під час обробки пластин. Наш напівпровідниковий пластинчастий патрон має хорошу цінову перевагу та охоплює багато європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

Ультраплоский напівпровідниковий патрон Semicorex має покриття SiC високої чистоти, яке використовується в процесі роботи з пластинами. Патрон для напівпровідникової пластини від обладнання MOCVD Зростання сполуки має високу термостійкість і стійкість до корозії, що має високу стабільність в екстремальних умовах і покращує управління виходом для обробки напівпровідникових пластин. Конфігурації з низьким контактом з поверхнею мінімізують ризик частинок із зворотного боку для чутливих застосувань.

Параметри напівпровідникового пластинчастого патрона

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC Î² фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	Î¼m	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 °)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300