Виготовлений з карбіду кремнію виняткової чистоти, човен Semicorex SiC Boat for Wafer Handling може похвалитися конструкцією, яка включає точні прорізи для кріплення пластин, пом’якшуючи будь-які рухи під час операційних процедур. Вибір карбіду кремнію як матеріалу забезпечує не тільки твердість і пружність, але й здатність витримувати високі температури та вплив хімічних речовин. Це робить SiC Boat для роботи з пластинами ключовим компонентом на багатьох етапах виробництва напівпровідників, таких як вирощування кристалів, дифузія, іонна імплантація та процеси травлення.
Човен Semicorex SiC Boat for Wafer Handling, що вирізняється незрівнянним співвідношенням міцності та ваги та чудовими теплопровідними властивостями, проходить подальший процес покращення за допомогою CVD-покриття SiC. Цей додатковий шар покриття посилює його стійкість до суворих умов технологічного середовища та захищає його від хімічної деградації та температурних коливань, значно подовжуючи термін його експлуатації та забезпечуючи стабільну продуктивність за суворих експлуатаційних вимог.
У таких термічних операціях, як відпал або дифузія, SiC Boat for Wafer Handling допомагає досягти рівномірного розподілу температури на поверхні пластини. Його відмінна теплопровідність сприяє ефективному розсіюванню тепла, зменшуючи температурні відмінності та сприяючи однорідності результатів процесу.
Човен Semicorex SiC для роботи з пластинами цінується за свою надійність і видатну продуктивність, що відповідає суворим вимогам сучасного виробництва напівпровідників. Завдяки адаптованості як для партійного, так і для окремих процесів обробки пластин SiC Boat for Wafer Handling є важливим інструментом для виробничих потужностей напівпровідників, спрямованих на досягнення найвищих стандартів продукції та максимізації виходу. Роль SiC Boat для обробки пластин є критично важливою для підтримки обох цілісність і надійність пластин, що знаходять широке застосування в обладнанні для виробництва напівпровідників, промислових пристроях і як запасні частини.