Багатофункціональний кишеньковий приймач SiC

Основою Semicorex SiC Multi Pocket Susceptor є ізотропний графіт надвисокої чистоти, відомий своєю термостабільністю та стійкістю до теплового удару. Цей базовий матеріал додатково покращується завдяки нанесенню ретельно контрольованого покриття SiC, нанесеного CVD. Ця комбінація забезпечує унікальну синергію властивостей:

Незрівнянна хімічна стійкість:Поверхневий шар SiC демонструє виняткову стійкість до окислення, корозії та хімічного впливу навіть при підвищених температурах, властивих процесам епітаксійного росту. Ця інертність гарантує, що SiC Multi Pocket Susceptor збереже свою структурну цілісність і якість поверхні, мінімізуючи ризик забруднення та забезпечуючи подовжений термін служби.

Виняткова термічна стабільність і однорідність:Внутрішня стабільність ізотропного графіту в поєднанні з рівномірним покриттям SiC гарантує рівномірний розподіл тепла по поверхні чутливого елемента. Ця однорідність має першочергове значення для досягнення однорідних температурних профілів на пластині під час епітаксії, що безпосередньо призводить до чудового росту кристалів і однорідності плівки.

Підвищена ефективність процесу:Надійність і довговічність SiC Multi Pocket Susceptor сприяє підвищенню ефективності процесу. Зменшення часу простою для очищення або заміни означає більшу пропускну здатність і нижчу загальну вартість володіння, що є ключовими факторами у складних умовах виготовлення напівпровідників.

Чудові властивості SiC Multi Pocket Susceptor безпосередньо перетворюються на відчутні переваги у виготовленні епітаксійних пластин:

Покращена якість вафель:Покращена однорідність температури та хімічна інертність сприяють зменшенню дефектів і покращенню якості кристалів в епітаксійному шарі. Це безпосередньо означає покращену продуктивність і продуктивність кінцевих напівпровідникових пристроїв.

Підвищена продуктивність пристрою:Здатність досягти точного контролю профілів легування та товщини шарів під час епітаксії має вирішальне значення для оптимізації продуктивності пристрою. Стабільна та уніфікована платформа, яку забезпечує SiC Multi Pocket Susceptor, дозволяє виробникам точно налаштовувати характеристики пристрою для конкретних застосувань.

Увімкнення розширених програм:Оскільки напівпровідникова промисловість просувається до менших геометрій пристроїв і складніших архітектур, попит на високоефективні епітаксіальні пластини продовжує зростати. Semicorex SiC Multi Pocket Susceptor відіграє вирішальну роль у забезпеченні цих досягнень, забезпечуючи необхідну платформу для точного та повторюваного епітаксійного росту.