Semicorex — ваш партнер у вдосконаленні обробки напівпровідників. Наші покриття з карбіду кремнію є щільними, стійкими до високих температур і хімікатів, які часто використовуються в усьому циклі виробництва напівпровідників, включаючи напівпровідникові пластини, обробку пластин і виготовлення напівпровідників.
Високочисті керамічні компоненти SiC мають вирішальне значення для процесів у напівпровіднику. Наша пропозиція варіюється від витратних матеріалів для обладнання для обробки пластин, таких як вафельний човен з карбіду кремнію, консольні лопаті, труби тощо для епітаксії або MOCVD.
Переваги для напівпровідникових процесів
Фази осадження тонкої плівки, такі як епітаксія або MOCVD, або обробка пластин, наприклад травлення чи іонна імплантація, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення. Semicorex постачає конструкцію з високочистого карбіду кремнію (SiC), яка забезпечує чудову термостійкість і довговічну хімічну стійкість, рівномірну термічну однорідність для стабільної товщини і стійкості епі-шару.
Кришки камери →
Кришки камер, які використовуються для вирощування кристалів і обробки пластин, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення.
Консольне весло →
Консольна пластина є важливим компонентом, який використовується в процесах виробництва напівпровідників, зокрема в дифузійних або LPCVD печах під час таких процесів, як дифузія та RTP.
Технологічна трубка →
Process Tube — це важливий компонент, спеціально розроблений для різних програм обробки напівпровідників, таких як RTP, дифузія.
Вафельні кораблики →
Wafer Boat використовується в обробці напівпровідників, він був ретельно розроблений, щоб забезпечити безпеку делікатних пластин під час критичних етапів виробництва.
Впускні кільця →
Газове вхідне кільце з покриттям SiC за допомогою обладнання MOCVD Зростання сполуки має високу стійкість до тепла та корозії, що має високу стабільність у екстремальних умовах.
Кільце фокусування →
Semicorex постачає кільце фокусування з покриттям з карбіду кремнію, яке дійсно стійке до RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
Вафельний патрон →
Ультраплоскі керамічні вакуумні вафельні патрони Semicorex мають покриття SiC високої чистоти, яке використовується в процесі обробки пластин.
Semicorex також має керамічні вироби з оксиду алюмінію (Al2O3), нітриду кремнію (Si3N4), нітриду алюмінію (AIN), оксиду цирконію (ZrO2), композитної кераміки тощо.
Підшипник Semicorex SiC з його винятковою твердістю, міцністю та хімічною інертністю став наріжним матеріалом для складних інженерних застосувань у різноманітних галузях промисловості. При виготовленні підшипників SiC відкриває новий рівень продуктивності та надійності, особливо в середовищах, що характеризуються екстремальними температурами, корозійними речовинами та суворими вимогами до чистоти. Ми в Semicorex націлені на виробництво та постачання високопродуктивних підшипників із SiC, які поєднують якість із економічною ефективністю.**
ДетальнішеНадіслати запитУщільнювальне кільце з карбіду кремнію Semicorex стало важливою передовою технологією в напівпровідниковій промисловості, пропонуючи неперевершену продуктивність і надійність в умовах дедалі більш вимогливих умов процесу. Їх унікальне поєднання властивостей матеріалів робить його ідеальним для широкого спектру застосувань, забезпечуючи оптимальний час безвідмовної роботи обладнання, подовжений життєвий цикл компонентів і, зрештою, нижчу загальну вартість володіння. Компанія Semicorex займається виробництвом і постачанням високоякісних ущільнювальних кілець із карбіду кремнію який поєднує якість з економічною ефективністю.**
ДетальнішеНадіслати запитІзоляторні кільця з нітриду алюмінію Semicorex є незамінними компонентами у передовому виробництві напівпровідників, особливо в процесах високочастотної термообробки. Унікальне поєднання високотемпературної стабільності, чудових герметизуючих властивостей, виняткової теплопровідності та внутрішньої довговічності робить їх необхідними для забезпечення точного керування процесом, високої продуктивності пристрою та подовженого терміну служби обладнання у складних умовах виробництва напівпровідників. Ми в Semicorex займаємося виробництвом і постачанням високоефективних ізоляторних кілець із нітриду алюмінію, які поєднують якість із економічною ефективністю.**
ДетальнішеНадіслати запитЕлектростатичні патрони з алюмінієвого нітриду Semicorex пропонують переконливу комбінацію властивостей, що робить їх ідеальними для виконання високих вимог обробки напівпровідникових пластин. Їхня здатність забезпечувати надійне та рівномірне затискання пластини, відмінне управління температурою та стійкість до суворих умов обробки перетворюється на покращену продуктивність пристрою, вищу продуктивність та зниження витрат на виробництво. Компанія Semicorex займається виробництвом і постачанням високопродуктивних електростатичних патронів з нітриду алюмінію, які поєднують якість з економічною ефективністю.**
ДетальнішеНадіслати запитПатрони Semicorex SiC Wafer Inspection Chucks є критично важливими інструментами для вдосконаленого виробництва напівпровідників, задовольняючи зростаючі вимоги до точності, чистоти та продуктивності. Їх чудові властивості матеріалу перетворюються на відчутні переваги протягом усього процесу виготовлення пластин, що в кінцевому підсумку сприяє підвищенню врожайності, покращенню продуктивності пристрою та зниженню загальних витрат на виробництво. Ми в Semicorex націлені на виробництво та постачання високопродуктивних SiC Wafer Inspection патронів, які поєднують якість з економічною ефективністю.**
ДетальнішеНадіслати запитКерамічна роботизована рука Semicorex Alumina, також відома як керамічна роботизована рука для обробки пластин або вилка для обробки керамічної кремнієвої пластини, є високопродуктивним компонентом напівпровідникового обладнання. Його конструкція враховує суворі вимоги виробництва напівпровідників. Завдяки високотемпературній стійкості, зносостійкості, хімічній стабільності та відмінним електроізоляційним властивостям керамічна рука з оксиду алюмінію відіграє незамінну роль у світовій промисловості виробництва напівпровідників. Ми в Semicorex націлені на виробництво та постачання високоефективної глиноземної керамічної роботизованої руки, яка поєднує якість з економічною ефективністю.**
ДетальнішеНадіслати запит