Покриття SiC – це тонкий шар, нанесений на чутливий елемент за допомогою процесу хімічного осадження з парової фази (CVD). Карбід кремнію має низку переваг перед кремнієм, включаючи 10-кратну напруженість електричного поля пробою, 3-кратну ширину забороненої зони, що забезпечує матеріал стійкістю до високих температур і хімічних речовин, відмінною зносостійкістю, а також теплопровідністю.
Semicorex надає індивідуальне обслуговування, допомагає вам впроваджувати інновації з компонентами, які служать довше, скорочують час циклу та підвищують врожайність.
Покриття SiC має кілька унікальних переваг
Стійкість до високих температур: токоприймач із покриттям CVD SiC може витримувати високі температури до 1600°C без значної термічної деградації.
Хімічна стійкість: покриття з карбіду кремнію забезпечує чудову стійкість до широкого спектру хімічних речовин, включаючи кислоти, луги та органічні розчинники.
Зносостійкість: покриття SiC надає матеріалу чудову зносостійкість, що робить його придатним для застосувань, які передбачають високий рівень зношування.
Теплопровідність: покриття CVD SiC надає матеріалу високу теплопровідність, що робить його придатним для використання в умовах високих температур, які потребують ефективної теплопередачі.
Висока міцність і жорсткість: токоприймач, покритий карбідом кремнію, надає матеріалу високу міцність і жорсткість, що робить його придатним для застосувань, які вимагають високої механічної міцності.
Покриття SiC використовується в різних сферах застосування
Виробництво світлодіодів: CVD SiC-суцептор із покриттям використовується у виробництві різних типів світлодіодів, включаючи сині та зелені світлодіоди, ультрафіолетові світлодіоди та світлодіоди глибокого ультрафіолетового випромінювання, завдяки своїй високій теплопровідності та хімічній стійкості.
Мобільний зв’язок: CVD-SiC-покривний приймач є важливою частиною HEMT для завершення епітаксійного процесу GaN-on-SiC.
Обробка напівпровідників: CVD SiC-суцептор із покриттям використовується в напівпровідниковій промисловості для різних застосувань, включаючи обробку пластин та епітаксійне зростання.
Графітові компоненти з покриттям SiC
Виготовлене з графіту з покриттям з карбіду кремнію (SiC), покриття наноситься методом CVD на певні сорти графіту високої щільності, тому воно може працювати у високотемпературній печі з температурою понад 3000 °C в інертній атмосфері та 2200 °C у вакуумі. .
Особливі властивості та невелика маса матеріалу забезпечують швидкий нагрів, рівномірний розподіл температури та виняткову точність контролю.
Матеріальні дані покриття Semicorex SiC
Типові властивості |
одиниці |
Цінності |
Структура |
|
FCC β фаза |
Орієнтація |
частка (%) |
111 бажано |
Насипна щільність |
г/см³ |
3.21 |
Твердість |
Твердість за Віккерсом |
2500 |
Теплоємність |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Теплове розширення 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6К-1 |
4.5 |
Модуль Юнга |
Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃) |
430 |
Розмір зерна |
мкм |
2~10 |
Температура сублімації |
℃ |
2700 |
Згинальна сила |
МПа (RT 4 точки) |
415 |
Теплопровідність |
(Вт/мК) |
300 |
Висновок Токоприймач із CVD SiC покриттям є композиційним матеріалом, що поєднує в собі властивості токоприймача та карбіду кремнію. Цей матеріал володіє унікальними властивостями, включаючи високу температурну і хімічну стійкість, відмінну зносостійкість, високу теплопровідність, а також високу міцність і жорсткість. Ці властивості роблять його привабливим матеріалом для різних високотемпературних застосувань, включаючи обробку напівпровідників, хімічну обробку, термічну обробку, виробництво сонячних батарей і світлодіодів.
Reactor System для рідкофазної епітаксії (LPE) Semicorex — це інноваційний продукт, який забезпечує відмінні теплові характеристики, рівномірний тепловий профіль і чудову адгезію покриття. Його висока чистота, стійкість до високотемпературного окислення та стійкість до корозії роблять його ідеальним вибором для використання в напівпровідниковій промисловості. Його настроювані параметри та економічна ефективність роблять його висококонкурентним продуктом на ринку.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex CVD Epitaxial Deposition In Barrel Reactor — це дуже міцний і надійний продукт для вирощування епіксіальних шарів на пластинчастих чіпах. Його стійкість до високотемпературного окислення та висока чистота роблять його придатним для використання в напівпровідниковій промисловості. Його рівномірний тепловий профіль, ламінарна структура газового потоку та запобігання забрудненню роблять його ідеальним вибором для високоякісного росту епіксіального шару.
ДетальнішеНадіслати запитЯкщо вам потрібен високоефективний графітовий чутливий пристрій для використання у виробництві напівпровідників, реактор для епітаксіального осадження кремнію Semicorex є ідеальним вибором. Його високочисте покриття SiC і виняткова теплопровідність забезпечують чудові властивості захисту та розподілу тепла, що робить його вибором для надійної та стабільної роботи навіть у найскладніших умовах.
ДетальнішеНадіслати запитЯкщо вам потрібен графітовий токоприймач із винятковою теплопровідністю та властивостями розподілу тепла, шукайте не далі, ніж систему Semicorex Inductively Heated Barrel Epi System. Його високочисте покриття SiC забезпечує чудовий захист у високій температурі та корозійному середовищі, що робить його ідеальним вибором для використання у виробництві напівпровідників.
ДетальнішеНадіслати запитЗавдяки винятковій теплопровідності та властивостям розподілу тепла, Barrel Structure Semicorex for Semiconductor Epitaxial Reactor є ідеальним вибором для використання в процесах LPE та інших застосуваннях у виробництві напівпровідників. Його високочисте покриття SiC забезпечує чудовий захист у високій температурі та корозійному середовищі.
ДетальнішеНадіслати запитЯкщо ви шукаєте високоефективний графітовий токоприймач для використання у виробництві напівпровідників, ідеальним вибором стане Graphite Barrel Susceptor із покриттям Semicorex SiC. Його виняткова теплопровідність і властивості розподілу тепла роблять його найкращим вибором для надійної та стабільної роботи у високотемпературних і корозійних середовищах.
ДетальнішеНадіслати запит