Носій кремнієвих пластин

Semicorex надає напівпровідникову кераміку для ваших OEM-інструментів для напівфабрикатів і компонентів обробки пластин, зосереджуючись на шарах карбіду кремнію в напівпровідниковій промисловості. Протягом багатьох років ми є виробником і постачальником кремнієвих пластин. Наш носій для кремнієвих пластин має хорошу цінову перевагу та охоплює більшість європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

У процесах осадження напівпровідників використовується комбінація летких вихідних газів, плазми та високої температури для нанесення високоякісних тонких плівок на пластини. Камери осадження та інструменти обробки пластин потребують міцних керамічних компонентів, щоб витримати ці складні умови.
Semicorex Silicon Wafer Carrier - це карбід кремнію високої чистоти, який має високі корозійні та термостійкі властивості, а також чудову теплопровідність.

Параметри носія кремнієвої пластини

Технічні властивості
Індекс	одиниця	Значення
Назва матеріалу		Реакційний спечений карбід кремнію	Спечений без тиску карбід кремнію	Перекристалізований карбід кремнію
Композиція		RBSiC	SSiC	R-SiC
Насипна щільність	г/см3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Міцність на згин	МПа (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Міцність на стиск	МПа (kpsi)	1120(158)	3970 (560)	> 600
Твердість	Кнопка	2700	2800	/
Порушення наполегливості	МПа м1/2	4.5	4	/
Теплопровідність	Вт/м.к	95	120	23
Коефіцієнт теплового розширення	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Питома теплоємність	Джоуль/г 0k	0.8	0.67	/
Максимальна температура повітря	℃	1200	1500	1600
Модуль пружності	Gpa	360	410	240

Різниця між SSiC і RBSiC:

1. Процес спікання відрізняється. RBSiC має просочувати вільний Si в карбід кремнію при низькій температурі, SSiC утворюється природною усадкою при 2100 градусах.

2. SSiC має більш гладку поверхню, вищу щільність і вищу міцність, для деяких ущільнювачів із суворішими вимогами до поверхні SSiC буде кращим.

3. Різний час використання за різного PH і температури, SSiC довше, ніж RBSiC

Особливості носія кремнієвої пластини

Високочистий графіт із покриттям SiC
Чудова термостійкість і теплова однорідність
Тонкий кристал SiC з покриттям для гладкої поверхні
Висока стійкість до хімічного очищення
Матеріал розроблений таким чином, щоб не було тріщин і розшарувань.

Доступні форми кераміки з карбіду кремнію:

● Керамічний стрижень / керамічний штифт / керамічний поршень

● Керамічна трубка / керамічна втулка / керамічна втулка

● Керамічне кільце / керамічна шайба / керамічна прокладка

● Керамічний диск

● Керамічна плита / керамічний блок

● Куля керамічна

● Керамічний поршень

● Керамічна насадка

● Керамічний тигель

● Інші нестандартні керамічні деталі