Запасні частини в епітаксіальному вирощуванні

Запасні частини Semicorex для епітаксіального росту є абсолютно критичними, особливо для процесів, які включають установки кварцових труб. Ці частини мають важливе значення для полегшення потоку газу для обертання основи лотка та забезпечення точного контролю температури протягом процесу епітаксійного росту. Запасні частини Semicorex для епітаксійного вирощування, відомі як напівчастини, ретельно розроблені, щоб витримувати високі температури та корозійні середовища, властиві камерам епітаксіального вирощування. Виготовлені з карбіду кремнію (SiC), вони забезпечують виняткову термічну та хімічну стабільність, що робить їх ідеальним вибором для таких вимогливих застосувань. Використання SiC гарантує, що ці деталі здатні витримувати навіть найскладніші умови.

Запасні частини в Epitaxial Growth нагадують форму півмісяця, сконструйовану так, щоб щільно прилягати до вузла кварцової трубки. Їх унікальна конфігурація у формі півмісяця дозволяє легко вставляти та витягувати їх із системи, полегшуючи процедури обслуговування та заміни з ефективністю та точністю.

Запасні частини в Epitaxial Growth служать багатьом цілям. По-перше, вони допомагають у контрольованій доставці газів, необхідних для процесу епітаксійного росту. Регулюючи швидкість потоку та розподіл газу, вони забезпечують рівномірне осадження напівпровідникових матеріалів на поверхню підкладки, що має вирішальне значення для досягнення бажаних властивостей матеріалу та продуктивності пристрою.

Запасні частини в епітаксіальному зростанні сприяють обертальному руху основи лотка всередині камери росту. Це обертання має ключове значення для сприяння рівномірному розподілу нанесених матеріалів, запобігання утворенню нерівностей або дефектів в епітаксіальних шарах.