Графітове покриття TaC створюється шляхом покриття поверхні високочистої графітової підкладки тонким шаром карбіду танталу за допомогою запатентованого процесу хімічного осадження з парової фази (CVD).
Карбід танталу (TaC) - це сполука, яка складається з танталу та вуглецю. Він має металеву електропровідність і надзвичайно високу температуру плавлення, що робить його вогнетривким керамічним матеріалом, відомим своєю міцністю, твердістю, термостійкістю та зносостійкістю. Точка плавлення карбідів танталу досягає максимуму приблизно при 3880°C залежно від чистоти і має одну з найвищих точок плавлення серед бінарних сполук. Це робить його привабливою альтернативою, коли вимоги до більш високих температур перевищують продуктивність, що використовується в епітаксіальних процесах складних напівпровідників, таких як MOCVD і LPE.
Дані матеріалу Semicorex TaC Coating
Проекти |
Параметри |
Щільність |
14,3 (г/см³) |
Коефіцієнт випромінювання |
0.3 |
КТР (×10-6/K) |
6.3 |
Твердість (HK) |
2000 |
Опір (Ом-см) |
1×10-5 |
Термічна стабільність |
<2500 ℃ |
Зміна розміру графіту |
-10~-20um (довідкове значення) |
Товщина покриття |
Типове значення ≥20um (35um±10um) |
|
|
Вищенаведені типові значення |
|
Направляюче кільце покриття Semicorex TaC є найважливішою частиною обладнання для металоорганічного хімічного осадження з парової фази (MOCVD), забезпечуючи точну та стабільну подачу газів-попередників під час процесу епітаксійного росту. Направляюче кільце покриття TaC має низку властивостей, які роблять його ідеальним для витримування екстремальних умов у камері реактора MOCVD.**
ДетальнішеНадіслати запитПатрон Semicorex TaC Coating Wafer Chuck є вершиною інновацій у процесі епітаксії напівпровідників, критичному етапі у виробництві напівпровідників. Завдяки нашому зобов’язанню постачати продукцію найвищої якості за конкурентоспроможними цінами, ми готові стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.*
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex MOCVD Susceptor з покриттям TaC — це передовий компонент, ретельно розроблений для оптимальної продуктивності в процесах епітаксії напівпровідників у системах MOCVD. Компанія Semicorex непохитно прагне постачати продукти найвищої якості за конкурентоспроможними цінами. Ми прагнемо встановити тривале партнерство з вами в Китаї.*
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex CVD TaC Coated Ring є найважливішим компонентом обробки напівпровідників, символізуючи зеніт сучасної інженерії матеріалів. Це кільце, створене для застосування в найсуворіших умовах, де точність і надійність панують на першому місці, втілює в собі поєднання передових технологій нанесення покриттів із стійкими матеріалами. Semicorex наполегливо постачає продукцію найвищого рівня за конкурентоспроможними цінами, і ми з нетерпінням очікуємо встановлення довготривалого партнерства з вами в Китаї.*
ДетальнішеНадіслати запитPlanetary Susceptor з покриттям Semicorex TaC — вузькоспеціалізований компонент, розроблений для використання в епітаксіальних процесах виробництва напівпровідників. Semicorex прагне постачати продукцію найвищої якості за конкурентоспроможними цінами. Ми прагнемо встановити з вами довгострокове партнерство в Китаї.*
ДетальнішеНадіслати запитНаправляюче кільце з покриттям з карбіду танталу Semicorex — це передовий компонент, спеціально розроблений для напівпровідникової промисловості, який відіграє вирішальну роль у зростанні кристалів карбіду кремнію (SiC). Цей продукт розроблений відповідно до суворих вимог високотемпературного та високонапруженого середовища, властивого процесам вирощування напівпровідникових кристалів. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, тому ми сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером у Китаї*.
ДетальнішеНадіслати запит