Графітове покриття TaC створюється шляхом покриття поверхні високочистої графітової підкладки тонким шаром карбіду танталу за допомогою запатентованого процесу хімічного осадження з парової фази (CVD).
Карбід танталу (TaC) - це сполука, яка складається з танталу та вуглецю. Він має металеву електропровідність і надзвичайно високу температуру плавлення, що робить його вогнетривким керамічним матеріалом, відомим своєю міцністю, твердістю, термостійкістю та зносостійкістю. Точка плавлення карбідів танталу досягає максимуму приблизно при 3880°C залежно від чистоти і має одну з найвищих точок плавлення серед бінарних сполук. Це робить його привабливою альтернативою, коли вимоги до більш високих температур перевищують продуктивність, що використовується в епітаксіальних процесах складних напівпровідників, таких як MOCVD і LPE.
Дані матеріалу Semicorex TaC Coating
Проекти |
Параметри |
Щільність |
14,3 (г/см³) |
Коефіцієнт випромінювання |
0.3 |
КТР (×10-6/K) |
6.3 |
Твердість (HK) |
2000 |
Опір (Ом-см) |
1×10-5 |
Термічна стабільність |
<2500 ℃ |
Зміна розміру графіту |
-10~-20um (довідкове значення) |
Товщина покриття |
Типове значення ≥20um (35um±10um) |
|
|
Вищенаведені типові значення |
|
Патрон із карбіду танталу Semicorex — це передовий компонент, який використовується в обладнанні для виробництва напівпровідників і відомий своїми винятковими термічними та механічними властивостями. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, тому ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї*.
ДетальнішеНадіслати запитКільце з покриттям Semicorex TaC є критично важливим компонентом, який відповідає цим вимогам. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, тому ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї*.
ДетальнішеНадіслати запитДушова лійка з покриттям Semicorex TaC є невід’ємною частиною процесу хімічного осадження з парової фази, забезпечуючи неперевершену продуктивність і довговічність. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, тому ми сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером у Китаї*.
ДетальнішеНадіслати запитПатрон із покриттям Semicorex TaC є значним прогресом у галузі виробництва напівпровідників. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, тому ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї*.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex Porous Graphite with TaC Coating — це спеціалізований матеріал, призначений для вирішення критичних проблем у вирощуванні кристалів карбіду кремнію (SiC). Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, тому ми сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером у Китаї*.
ДетальнішеНадіслати запитПористий графіт із покриттям з карбіду танталу Semicorex — це остання інновація в технології вирощування кристалів з карбіду кремнію (SiC). Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, тому ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї*.
ДетальнішеНадіслати запит