Графітове покриття TaC створюється шляхом покриття поверхні високочистої графітової підкладки тонким шаром карбіду танталу за допомогою запатентованого процесу хімічного осадження з парової фази (CVD).
Карбід танталу (TaC) - це сполука, яка складається з танталу та вуглецю. Він має металеву електропровідність і надзвичайно високу температуру плавлення, що робить його вогнетривким керамічним матеріалом, відомим своєю міцністю, твердістю, термостійкістю та зносостійкістю. Точка плавлення карбідів танталу досягає максимуму приблизно при 3880°C залежно від чистоти і має одну з найвищих точок плавлення серед бінарних сполук. Це робить його привабливою альтернативою, коли вимоги до більш високих температур перевищують продуктивність, що використовується в епітаксіальних процесах складних напівпровідників, таких як MOCVD і LPE.
Дані матеріалу Semicorex TaC Coating
Проекти |
Параметри |
Щільність |
14,3 (г/см³) |
Коефіцієнт випромінювання |
0.3 |
КТР (×10-6/K) |
6.3 |
Твердість (HK) |
2000 |
Опір (Ом-см) |
1×10-5 |
Термічна стабільність |
<2500 |
Зміна розміру графіту |
-10~-20um (довідкове значення) |
Товщина покриття |
â¥20um типове значення (35um±10um) |
|
|
Вищенаведені типові значення |
|
Графітові деталі Semicorex TaC з покриттям — це прецизійні компоненти, які спеціально розроблені, щоб витримувати вимогливе середовище обробки напівпровідників. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex TaC Coating Graphite Cover являє собою передове рішення в області теплових застосувань для росту кристалів і епітаксіальних (епі) процесів. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex TaC Coating Ring є ключовим компонентом у сфері росту монокристалів у тепловому полі. Створене з точністю та інноваціями, це спеціалізоване напрямне кільце відіграє вирішальну роль у складному процесі виробництва монокристалічного матеріалу. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитВафельний токоприймач із покриттям Semicorex TaC є ключовим компонентом, який використовується в печах металоорганічного хімічного осадження з парової фази (MOCVD) для епітаксійної обробки напівпровідників (epi). Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитПластина з покриттям з карбіду танталу Semicorex TaC — це передове рішення, призначене для задоволення суворих вимог виробництва напівпровідників, особливо на етапі епітаксіальної (епі) обробки. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитНапрямне кільце з покриттям Semicorex TaC, вершина інновацій у печах для вирощування монокристалів SiC (карбіду кремнію). Це направляюче кільце, ретельно розроблене для задоволення високих вимог напівпровідникової промисловості, обіцяє переосмислити ваші процеси росту кристалів із неперевершеною точністю та надійністю.
ДетальнішеНадіслати запит