Графітове покриття TaC створюється шляхом покриття поверхні високочистої графітової підкладки тонким шаром карбіду танталу за допомогою запатентованого процесу хімічного осадження з парової фази (CVD).
Карбід танталу (TaC) - це сполука, яка складається з танталу та вуглецю. Він має металеву електропровідність і надзвичайно високу температуру плавлення, що робить його вогнетривким керамічним матеріалом, відомим своєю міцністю, твердістю, термостійкістю та зносостійкістю. Точка плавлення карбідів танталу досягає максимуму приблизно при 3880°C залежно від чистоти і має одну з найвищих точок плавлення серед бінарних сполук. Це робить його привабливою альтернативою, коли вимоги до більш високих температур перевищують продуктивність, що використовується в епітаксіальних процесах складних напівпровідників, таких як MOCVD і LPE.
Дані матеріалу Semicorex TaC Coating
Проекти |
Параметри |
Щільність |
14,3 (г/см³) |
Коефіцієнт випромінювання |
0.3 |
КТР (×10-6/K) |
6.3 |
Твердість (HK) |
2000 |
Опір (Ом-см) |
1×10-5 |
Термічна стабільність |
<2500 ℃ |
Зміна розміру графіту |
-10~-20um (довідкове значення) |
Товщина покриття |
Типове значення ≥20um (35um±10um) |
|
|
Вищенаведені типові значення |
|
Графітовий патрон Semicorex TaC Coated — це високопродуктивний компонент, розроблений для точної обробки пластин і високотемпературних процесів у виробництві напівпровідників. Виберіть Semicorex за його інноваційні, міцні продукти, які забезпечують оптимальну продуктивність і довговічність у складних напівпровідникових додатках.*
ДетальнішеНадіслати запитКільце Semicorex TaC — це високоефективний компонент, призначений для вирощування монокристалів SiC, що забезпечує оптимальний розподіл потоку газу та контроль температури. Виберіть Semicorex завдяки нашому досвіду в галузі передових матеріалів і точного проектування, що забезпечує довговічні та надійні рішення, які підвищують ефективність і якість ваших напівпровідникових процесів.*
ДетальнішеНадіслати запитЧастина з карбіду танталу Semicorex — це графітовий компонент із покриттям TaC, розроблений для високопродуктивного використання в програмах для вирощування кристалів карбіду кремнію (SiC), що забезпечує чудову температурну та хімічну стійкість. Виберіть Semicorex для надійних високоякісних компонентів, які підвищують якість кристалів і ефективність виробництва напівпровідників.*
ДетальнішеНадіслати запитКільця з карбіду танталу Semicorex є критично важливими компонентами, які використовуються в передових процесах виробництва напівпровідників. Компанія Semicorex, відома своєю винятковою твердістю, високою температурою плавлення та хімічною інертністю, прагне постачати продукцію, яка відповідає найвищим стандартам якості та продуктивності, гарантуючи, що наші клієнти залишатимуться в авангарді інновацій у напівпровідниковій промисловості.*
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex TaC Coating Wafer Susceptor — це графітовий лоток, покритий карбідом танталу, який використовується в епітаксійному зростанні карбіду кремнію для підвищення якості та продуктивності пластин. Виберіть Semicorex за його передову технологію покриття та довговічні рішення, які забезпечують чудові результати епітаксії SiC і подовжений термін служби тяги.*
ДетальнішеНадіслати запитНаправляючі кільця з покриттям TaC — це графітове кільце з покриттям з карбіду танталу, призначене для використання в печах для вирощування кристалів карбіду кремнію для підвищення якості кристалів. Виберіть Semicorex за передову технологію покриття, що забезпечує чудову довговічність, термічну стабільність і оптимізовану ефективність росту кристалів.*
ДетальнішеНадіслати запит