Графітове покриття TaC створюється шляхом покриття поверхні високочистої графітової підкладки тонким шаром карбіду танталу за допомогою запатентованого процесу хімічного осадження з парової фази (CVD).
Карбід танталу (TaC) - це сполука, яка складається з танталу та вуглецю. Він має металеву електропровідність і надзвичайно високу температуру плавлення, що робить його вогнетривким керамічним матеріалом, відомим своєю міцністю, твердістю, термостійкістю та зносостійкістю. Точка плавлення карбідів танталу досягає максимуму приблизно при 3880°C залежно від чистоти і має одну з найвищих точок плавлення серед бінарних сполук. Це робить його привабливою альтернативою, коли вимоги до більш високих температур перевищують продуктивність, що використовується в епітаксіальних процесах складних напівпровідників, таких як MOCVD і LPE.
Дані матеріалу Semicorex TaC Coating
Проекти |
Параметри |
Щільність |
14,3 (г/см³) |
Коефіцієнт випромінювання |
0.3 |
КТР (×10-6/K) |
6.3 |
Твердість (HK) |
2000 |
Опір (Ом-см) |
1×10-5 |
Термічна стабільність |
<2500 |
Зміна розміру графіту |
-10~-20um (довідкове значення) |
Товщина покриття |
â¥20um типове значення (35um±10um) |
|
|
Вищенаведені типові значення |
|
Передовий графітовий токоприймач Semicorex із покриттям TaC, революційний компонент, розроблений для підвищення ефективності та точності процесу епітаксійної обробки пластин. Розроблений із застосуванням неперевершеного досвіду та найсучаснішої технології, графітовий фіксатор із покриттям Semicorex TaC сконструйований, щоб відповідати високим вимогам виробництва напівпровідників.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex надає високоякісні графітові деталі з карбідом танталу з індивідуальним обслуговуванням. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex надає графітовий токоприймач із покриттям з карбіду танталу з індивідуальним обслуговуванням. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитПористий графіт із покриттям Semicorex TaC — передовий матеріал високої чистоти для обробки напівпровідників. Ця важлива частина обладнання відіграє ключову роль у процесі вирощування монокристалів SiC. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитЯк професійний виробник, ми хотіли б надати вам кільця з покриттям TaC. Представляємо CVD Tac Coated Ring, найсучасніше рішення для напівпровідникового обладнання. Цей ультрасучасний продукт має передове покриття хімічного осадження з парової фази (CVD), яке забезпечує виняткову довговічність і стійкість до зношування.
ДетальнішеНадіслати запитПредставляємо тигель із покриттям CVD Tac, ідеальне рішення для виробників напівпровідникового обладнання та користувачів, яким потрібен найвищий рівень якості та продуктивності. Наші тиглі покриті найсучаснішим шаром CVD Tac (карбіду танталу), який забезпечує чудову стійкість до корозії та зношування, що робить їх ідеальними для використання в різноманітних напівпровідникових додатках.
ДетальнішеНадіслати запит