Продукти

Тримач для пластин ICP Etching

Тримач для пластин ICP Etching

Тримач для пластин із травленням ICP від ​​Semicorex є ідеальним рішенням для високотемпературних процесів обробки пластин, таких як епітаксія та MOCVD. Завдяки стабільній високотемпературній стійкості до окислення до 1600°C, наші носії забезпечують рівномірні термічні профілі, ламінарні схеми потоку газу та запобігають забрудненню або дифузії домішок.

Надіслати запит

Опис продукту

Шукаєте надійного постачальника носіїв для пластин для епітаксійного обладнання? Не дивіться далі, ніж Semicorex. Наш тримач пластин ICP для травлення розроблений спеціально для високотемпературних і жорстких хімічних умов очищення. Завдяки тонкому кристалічному покриттю SiC наші носії забезпечують чудову термостійкість, рівномірну теплову однорідність і тривалу хімічну стійкість.
Наш ICP Etching Wafer Holder розроблено для досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу, забезпечуючи рівномірність теплового профілю. Це допомагає запобігти будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш ICP Etching Wafer Holder.


Параметри ICP Etching Wafer Holder

Основні характеристики покриття CVD-SIC

Властивості SiC-CVD

Кристалічна структура

FCC β фаза

Щільність

г/см³

3.21

Твердість

Твердість за Віккерсом

2500

Розмір зерна

μm

2~10

Хімічна чистота

%

99.99995

Теплоємність

Дж·кг-1 ·К-1

640

Температура сублімації

2700

Згинальна сила

МПа (RT 4 точки)

415

Модуль Юнга

Gpa (вигин 4 точки, 1300 °)

430

Теплове розширення (C.T.E)

10-6К-1

4.5

Теплопровідність

(Вт/мК)

300


Особливості ICP Etching Wafer Holder

- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні

Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C

Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.

Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.

Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.

- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу

- Гарантія рівності теплового профілю

- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок





Гарячі теги: Тримач для пластин ICP Etching, Китай, Виробники, Постачальники, Фабрика, Індивідуальний, Масовий, Розширений, Міцний

Пов'язана категорія

Надіслати запит

Будь ласка, надішліть свій запит у формі нижче. Ми відповімо вам протягом 24 годин.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept