додому > Продукти > Покриття з карбіду кремнію > ICP Etching Carrier > Лоток для плазмового травлення ICP
Продукти
Лоток для плазмового травлення ICP

Лоток для плазмового травлення ICP

Лоток для плазмового травлення ICP від ​​Semicorex розроблений спеціально для високотемпературних процесів обробки пластин, таких як епітаксія та MOCVD. Завдяки стабільній високотемпературній стійкості до окислення до 1600°C, наші носії забезпечують рівномірні термічні профілі, ламінарні схеми потоку газу та запобігають забрудненню або дифузії домішок.

Надіслати запит

Опис продукту

Наш лоток для плазмового травлення ICP покритий карбідом кремнію за допомогою методу CVD, що є ідеальним рішенням для процесів обробки пластин, які вимагають високотемпературного та жорсткого хімічного очищення. Носії Semicorex мають дрібне кристалічне покриття SiC, яке забезпечує рівномірні термічні профілі, ламінарні структури потоку газу та запобігає забрудненню або дифузії домішок.
У Semicorex ми зосереджені на забезпеченні високоякісних, економічно ефективних продуктів для наших клієнтів. Наш лоток для плазмового травлення ICP має цінову перевагу та експортується на багато європейських та американських ринків. Ми прагнемо бути вашим довгостроковим партнером, пропонуючи продукти незмінної якості та виняткове обслуговування клієнтів.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш лоток для плазмового травлення ICP.


Параметри лотка для плазмового травлення ICP

Основні характеристики покриття CVD-SIC

Властивості SiC-CVD

Кристалічна структура

FCC β фаза

Щільність

г/см³

3.21

Твердість

Твердість за Віккерсом

2500

Розмір зерна

мкм

2~10

Хімічна чистота

%

99.99995

Теплоємність

Дж кг-1 К-1

640

Температура сублімації

2700

Згинальна сила

МПа (RT 4 точки)

415

Модуль Юнга

Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)

430

Теплове розширення (C.T.E)

10-6К-1

4.5

Теплопровідність

(Вт/мК)

300


Особливості ICP Plasma Etching Tray

- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні

Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C

Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.

Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.

Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.

- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу

- Гарантія рівності теплового профілю

- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок





Гарячі теги: ICP Plasma Etching Tray, Китай, Виробники, Постачальники, Фабрика, Індивідуальний, Масовий, Розширений, Міцний
Пов'язана категорія
Надіслати запит
Будь ласка, надішліть свій запит у формі нижче. Ми відповімо вам протягом 24 годин.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept