Полі-Si прорізні кільця

Кільця з прорізами Poly-Si зазвичай встановлюються в реакційну камеру передового обладнання для травлення напівпровідників. Вони діють синергетично з кремнієвими частинами, включаючи кремнійкільця фокусування, кремнієві зовнішні кільця та кремнійдушові лійки. Ці деталі можуть створювати стабільну та оптимальну реакційну середу для процесу травлення, забезпечуючи чудову якістьтравленняточність і послідовність процесу.

Функції щілинних кілець Semicorex poly-Si

1. Кільця з прорізами Semicorex poly-Si оснащені кількома рівномірно розподіленими прорізами, які служать газовими проходами, які забезпечують плавний випуск технологічних газів після реакції.

2. Прорізні кільця Semicorex poly-Si здатні досягти відмінного контролю плазми, забезпечуючи надійний захист реакційної камери обладнання для травлення напівпровідників.

3. Кільця з пазами Semicorex poly-Si можуть допомогти регулювати електричне поле та тиск у камері, таким чином запобігаючи впливу нестабільності на послідовність процесу травлення.

Високий стандарт підбору матеріалів

Прорізні кільця Semicorex poly-Si виготовляються з високоякісного полікристалічного кремнію з рівнем чистоти понад 99,9999%, що надає їм чудові властивості, як зазначено нижче.

1. Надвисока чистота та надзвичайно низький вміст домішок.

2. Виняткова стійкість до плазмової корозії.

3. Сприятливі електричні властивості з рівномірністю опору: RRG ≤ 5%, низька роздільна здатність. (<0,02), середня рез. (1–4) та високої роздільної здатності. (70–90).

Виробничі можливості та контроль якості

Оснащена сучасним обробним обладнанням і досвідченою технічною командою, Semicorex суворо контролює кожен виробничий процес і пропонує нашим цінним клієнтам високоякісні та добре підібрані кільця з прорізами з полі-Si. Крім того, Semicorex проводить суворий контроль за вимірюванням розмірів, випробуванням питомого опору та візуальним оглядом готових кілець із прорізами з полікремнію, щоб гарантувати відсутність у них таких дефектів, як відколи, подряпини, тріщини та плями.