Силіконові касетні човни

Силіконові касетні човни, виготовлені з неперевершеного високочистого полікристалічного кремнію або монокристалічного кремнію, мають такі переваги:

1. Ультра-низьке забруднення домішками: 

Їхні матеріали мають той самий хімічний склад, що й вафлі, що зводять до мінімуму небажані іони домішок під час високотемпературних процесів.

2. Чудова термічна стабільність: 

Вони здатні витримувати відсутність деформацій і підтримувати точне відстань для тривалого високотемпературного впливу (близько 1250 °C), забезпечуючи таким чином стабільну опорну платформу для пластин.

3. Відмінні механічні властивості: 

Вони більш стійкі до ударів і менш схильні до поломок під час завантаження та розвантаження, ніж кварцові човни.

4. Тривалий термін служби: 

Без покриття на поверхні, їх поверхневі матеріали не відшаровуються, навіть якщо протягом тривалого часу піддаватися впливу складних високотемпературних середовищ.

Semicorex кремнійкасетні човнице невеликі опори для пластин і носії для перенесення, які сумісні з 4-дюймовими та 6-дюймовими горизонтальними високотемпературними печами. Інтегрована сформована структурна конструкція дозволяє уникнути зазорів між зрощеннями та структурних недоліків у з’єднаннях, що значно знижує ризик розтріскування, викликане механічним впливом, хімічною корозією або термічним впливом. Силіконові касетні човни добре сумісні з такими процедурами високотемпературної обробки, як окислення, дифузія, відпал і високотемпературне очищення, значною мірою завдяки передовій технології обробки Semicorex.

Силіконові касетні човни Semicorex підтримують високоякісні індивідуальні налаштування для наших шановних клієнтів, включаючи такі аспекти, як форма канавки, довжина зуба канавки, профіль, кут нахилу та загальна місткість завантаження пластини. Цей індивідуальний дизайн гарантує, що пластини точно розташовані через фіксовані інтервали в кремнієвих касетних човнах, ефективно пом’якшуючи позиційні відхилення та нерівномірне нагрівання під час обробки, і таким чином запобігає пошкодженню електричних характеристик мікросхеми або навіть повній відмові мікросхеми. Щоб переконатися, що клієнти отримують високоякісні продукти, кремнієві касетні човни Semicorex повинні проходити суворі перевірки якості, включаючи точність розмірів, властивості матеріалу, рівність поверхні, загальну чистоту та залишкову напругу.