Силіконові човни Semicorex-це носії з високою чистотою кремнію, призначені для росту кристалів, напівпровідників та фотоелектричних виробничих процесів, що забезпечує виняткову термічну стійкість та контроль забруднення. Вибір Semicorex означає доступ до точності точних човнів, виготовлених під суворим контролем якості, щоб забезпечити послідовну продуктивність у найвибагливіших умовах.*
Силіконові човни Semicorex-це спеціалізовані компоненти, що використовуються переважно у високотемпературному росту кристалів, виробництві напівпровідників та пов'язаних з ними фотоелектричних секторах. Вони побудовані з кремнію з високою чистотою і виготовлені для утримання вафель, субстратів або сировини під час термічної обробки. Це гарантує, що процес виникає в чистому середовищі та контрольованому середовищі, що неймовірно важливе для забезпечення того, щоб матеріали підтримували чистоту та надійну продуктивність без забруднення.
Вони виготовляються за допомогою вдосконалених методів формування та спікання, кремнієві човни забезпечать чудову розмірну точність та чудову гладку поверхневу обробку. Це важливо для досягнення рівномірного нагрівання компонентів, завантажених на підкладку або човен, що забезпечує низькі теплові градієнти та дефекти під час циклів нагріву та охолодження. Крім того, вони мають високу температуру плавлення кремнію, що означає, що човен може протистояти екстремальній температурі під час будь -якого процесу (наприклад, дифузія, окислення, епітаксія) без деформації або деградації матеріалу. Нарешті, вони мають низький коефіцієнт теплового розширення для кремнію, який також забезпечує механічну стабільність і знижує ймовірність розтріскування та викривлення при взаємодії зі швидкими тепловими змінами.
Однією з головних переваг, пов’язаних з кремнієвими човнами, є їх висока хімічна інертність. В агресивних технологічних умовах кремнієві човни не атакують галогенами, кислотами та реактивним газом, що забезпечує значну страховку, що човен не зазнає деградації поверхні або спричинить мінливість забруднень у переробній камері, яка може поставити під загрозу врожайність та якість продукції. Чистота матеріалу, який може перевищувати> 99,999% чистоти, також є надзвичайно важливим для виробництва напівпровідників, оскільки наявність навіть хвилинних кількостей забруднень може різко впливати на електричні властивості кінцевих пристроїв.
Окрім частини зростання злиття, кремнієві човни використовуються на більшості етапів виготовлення вафель - і вони служать надійними та передбачуваними носіями кремнієвих субстратів під час процесів термічної обробки. Кремнієві човни піддають кожен зразок однакового часу нагріву та впливу - консистенція є ключовою для підтримки якості кристалів. Вони також можуть бути реалізовані за допомогою всіх типів конструкцій печі та атмосфери обробки, що робить його продуктом з універсальним застосуванням до більшості ліній обробки. Гладкі поверхні внутрішніх відсіків забезпечують меншу шкоду тоншій механічній структурі вафель порівняно з іншими дійсно шорсткими поверхнями, що сприяє меншим ризикам мікрофракцій при підвищенні кінцевої швидкості виходу.
Силіконові човни є життєво важливими для виробництва в процесах дифузії напівпровідникової промисловості або іонної імплантації, де вафлі повинні контролювати температуру точно на краю човна, уздовж бічної сторони та рівномірно нагріваються. Сила та теплопровідність кремнію дають виробнику достатню роздільну здатність для контролю температури процесу, щоб мінімізувати час циклу та оптимізувати ефективність загального процесу. Інертність матеріалу не пошкодить взаємодію з газовими формами допантів, що дозволяє жорстким контролем допінгового профіля.
Кремнієві човни можуть бути розроблені в травні, що змінюються та розміри, що включають плоскі, щілинні та різноманітні форми на замовлення, які відповідають вимогам процесу індивідуального виробника. Існує кілька варіантів налаштування, включаючи товщину стінок, ширину слотів та конструкції, які виконують різну кількість вафель різноманітних розмірів. Ці варіанти дозволяють виробнику контролювати тепловий потік, максимальну ємність човнів та завантаження/розвантаження човнів.
Ще одна область, де переваги поверхні кремнієвого човна - це підтримка човнів та їх корисного життя. Загалом, кремнієві човни забезпечують тривалий термін служби, зберігаючи кілька процедур обробки та очищення для регулярного очищення човнів у високотемпературних областях, де вони бачать багато "швидкого термічного циклу". Завдяки добре доглянутому структурі частота заміни зменшиться, що призведе до зниження витрат на операції та часу.
Кремнієві човни є критичними для сучасного напівпровідника та сонячного виробництва, де контроль процесів та запобігання забрудненню є ключовими. Чистота, термічна стійкість, механічна міцність та хімічна стійкість кремнієвих човнів дозволяють використовувати їх у процесах, що мають вимогливі. Незалежно від того, чи в лабораторному середовищі чи більшої промислової практики, кремнієві човни можуть запропонувати постійні та надійні показники таким чином, щоб покращити якість продукції, покращити врожайність та підвищити ефективність.
Максимізація цих переваг починається з пошуку високоякісного постачальника кремнію. Виробники постачальників, які мають хорошу якість, точну обробку та встановлення чистих матеріалів, здатні забезпечити кремнієві човни, які не можуть бути виміряні лише для точних деталей, розмірів та якості поверхні, але виробляють кремнієві човни, виготовлені з чистого матеріалу для тривалої продуктивності та надійності майже в будь-якому використанні додатків. Корисність кремнієвих човнів у ідентифікації виробництва кремнію з деякими найскладнішими застосуваннями, а напівпровідникові пристрої наступного покоління та високоефективні сонячні батареї виробляються із застосуванням кремнієвих човнів.