Човник із кремнієвих пластин

Semicorex може налаштувати структуру човна з кремнієвої пластини, включаючи форму стрижня канавки, довжину зуба канавки, форму, кут нахилу та загальну місткість завантаження пластини, і може бути виготовлена ​​відповідно до вимог замовника. Високотемпературні кремнієві човни можуть ефективно зменшити контактні пошкодження кремнієвих пластин і підвищити продуктивність процесу. Його високотемпературна конструкція "башт без ковзання" підтримує пластини лише на кінчику опорного зуба. У порівнянні зкарбід кремнію, кремній має відносно низьку твердість, що зменшує механічні пошкодження пластин, тим самим покращуючи швидкість проходження решітки та ефективно знижуючи виробничі витрати. Човен з плавленого кремнію складається з кількох частин: зубців, основної пластини та верхньої пластини, які сплавлені разом. Це знижує собівартість продукції. У разі часткового пошкодження пошкоджені частини можна замінити без заміни всього силіконового човна, що значно знижує витрати на володіння під час використання. Крім того, кремнієвий човен має велику верхню межу для осадження полікремнію, що може ефективно зменшити частоту використання обладнання для ПМ і покращити виробничу потужність.

Semicorex Silicon Wafer Boat — це інноваційний, спеціально розроблений носій для пластин. Він спеціально створений для високотемпературної обробки в печі, яка використовується в напівпровідниковій промисловості, включаючи процеси окислення та відновлення при температурах від 1200 до 1250 °C. Завдяки перевагам у продуктивності, недоступним у матеріалі карбід кремнію (SiC), кремнієва пластина забезпечує переваги, пов’язані з суворими процесами, яких вимагає виробництво напівпровідників. По-перше, надвисока чистота кремнієвого матеріалу є важливою; насправді,кремнієвий матеріалдосягає надвисоких рівнів чистоти понад 9N (99,9999999%), таким чином гарантуючи відсутність металевих або сторонніх домішок, які не забруднюватимуть обробку пластин. Це має вирішальне значення для передового виробництва напівпровідникових пристроїв, де на надійність продуктивності та продуктивність сильно впливає забруднення. Силіконовий вафельний човен забезпечує надчисте середовище з високим рівнем чистоти, що відповідає найсучаснішим галузевим вимогам щодо обробки пластин, які піддаються дуже високим температурам для обробки окислення та відновлення.

Ще одна перевагакремнієвий матеріалє його нижчі властивості твердості порівняно з матеріалом SiC. Прутки або човни SiC відомі своєю твердістю та міцністю, але сама ця властивість може призвести до труднощів під час обробки пластин. При високих температурах пластини будуть мікрорухатися; вони будуть злегка підстрибувати, злегка зміщуватись і деформуватися, перебуваючи всередині човна. Більш твердий матеріал SiC може становити більший ризик утворення часток або подряпин на задній стороні пластини, оскільки властивості пластини та човна взаємодіють під час високотемпературних умов обробки.

Силіконовий пластинчастий човен знімає цю проблему, використовуючи відносно м’який характер кремнію по відношенню до SiC. Зниження твердості дозволяє зменшити тертя та механічну напругу, коли пластини контактують із човном під час термічних циклів. У результаті частинки утворюються рідше, а ризик подряпин на тильній стороні зводиться майже до нуля. Крім того, мінімізуючи поверхневі дефекти, Silicon Wafer Boat безпосередньо покращує якість решітки та підвищує загальний рівень кваліфікації оброблених пластин. Для напівпровідникових фабрик, які прагнуть підвищити продуктивність із максимальним контролем якості, такий рівень продуктивності робить кремнієвий човен привабливим варіантом.

Силікон забезпечує хорошу стабільність і механічну міцність при високих температурах, що дозволяє надійно служити човну під час повторних циклів печі. Матеріал протистоїть викривленню під час циклів нагрівання та охолодження, і, таким чином, зберігає точне розміщення пластин і допуск позиціонування навіть під час швидких циклів печі. Ця термостійкість забезпечує надійні результати процесу, які є достатньо послідовними для великого обсягу виробництва з мінімальними коливаннями між циклами. Силіконовий вафельний човен сконструйований з високою точністю розмірів, щоб забезпечити послідовне позиціонування та розміщення пластин. Човен виготовляється з використанням передової обробки та полірування для створення гладких поверхонь, точної геометрії та жорстких допусків.