Силіконовий інжектор

Кремнієвий інжектор Semicorex — це компонент надвисокої чистоти, призначений для точної подачі газу в системах хімічного осадження з газової фази під низьким тиском (LPCVD) для осадження полікремнію та тонких плівок. Побудований з 9N (99,9999999%)кремній високої чистоти, цей тонкий трубчастий інжектор забезпечує виняткову чистоту, сумісність з хімічними речовинами та термічну стабільність у екстремальних умовах процесу.

Кожен інжектор виготовляється з використанням найсучаснішої обробки та полірування з ЧПУ, що забезпечує субмікронні допуски на розміри та надгладке покриття поверхні. Високоякісна обробка поверхні зводить до мінімуму турбулентність газу, утворюючи дуже мало частинок або взагалі не створюючи їх, забезпечуючи стабільні характеристики потоку при непостійних змінах тепла та тиску. Точне виробництво забезпечує суворо контрольовані процеси, відтворювані та надійні результати, а отже, стабільну продуктивність обладнання.

Інжектор виготовляється з монокристалічного або полікристалічного кремнію залежно від вимог процесу, а матеріал розроблено з низьким вмістом металевих, твердих часток та іонних домішок. Це забезпечує сумісність із ультрачистими умовами LPCVD, де навіть сліди забруднення можуть спричинити дефект плівки або поломку пристрою. Використання кремнію як основного матеріалу також зменшує невідповідність матеріалу між інжектором і кремнієвими компонентами камери, що значно знижує ризики утворення частинок або хімічних реакцій під час використання та роботи при високій температурі.

Спеціальна трубчаста структура кремнієвого інжектора забезпечує контрольований і рівномірний розподіл газу по рівномірному завантаженню пластини. Мікроконструйовані отвори та гладка внутрішня поверхня забезпечують відтворювану швидкість потоку разом із ламінарною газовою динамікою, що має вирішальне значення для постійної товщини плівки та стабільної швидкості осадження в печі. Незалежно від того, чи це силан (SiH₄), дихлорсилан (SiH₂Cl₂) чи інші реакційноздатні гази, інжектор забезпечує надійну продуктивність і точність, необхідні для вирощування плівки полікремнію високої якості.

Завдяки чудовій термічній стабільності кремнієвий інжектор Semicorex може витримувати температуру до 1250 °C і ним можна керувати, не побоюючись деформації, розтріскування або викривлення під час кількох циклів високотемпературного LPCVD. Крім того, його висока стійкість до окислення та хімічна інертність забезпечують тривалу роботу в окислювальній, відновній або корозійній атмосфері, одночасно зменшуючи технічне обслуговування та забезпечуючи стабільність процесу.

Кожен інжектор виготовляється з використанням найсучаснішої обробки та полірування з ЧПУ, що забезпечує субмікронні допуски на розміри та надгладке покриття поверхні. Високоякісна обробка поверхні зводить до мінімуму турбулентність газу, утворюючи дуже мало частинок або взагалі не створюючи їх, забезпечуючи стабільні характеристики потоку при непостійних змінах тепла та тиску. Точне виробництво забезпечує суворо контрольовані процеси, відтворювані та надійні результати, а отже, стабільну продуктивність обладнання.

, цей тонкий трубчастий інжектор забезпечує виняткову чистоту, сумісність з хімічними речовинами та термічну стабільність у екстремальних умовах процесу.кремнієві компоненти.

Кремнієвий інжектор Semicorex забезпечує точність і чистоту, необхідні для сучасного виробництва напівпровідників. Включення кремнію надвисокої чистоти 9N, точність обробки на мікронному рівні та висока термічна та хімічна стабільність забезпечують рівномірний розподіл газу, менше утворення частинок і виняткову надійність під час нанесення полікремнію LPCVD.