Човен із силіконового п’єдесталу

Semicorex Silicon Pedestal Boat — це надчистий носій для пластин, який був розроблений з високою чистотою та точністю для підтримки високотемпературних напівпровідникових процесів, таких як окислення, дифузія та LPCVD (хімічне осадження з парової фази під низьким тиском). Цей носій для пластин виготовлений з 9N (99,9999999%)кремній високої чистотищоб забезпечити виняткову чистоту, стабільність термічного коефіцієнта розширення та механічну точність для підтримки пластин і послідовного контролю процесу в надзвичайно чистих середовищах.

Оскільки геометрія напівпровідникових пристроїв продовжує зменшуватися, потреба в надчистих і термосумісних компонентах обробки пластин ніколи не була такою затребуваною. Силіконовий п’єдесталний човен відповідає цим вимогам завдяки високій точності розмірів і неперевершеній чистоті для використання в передових системах печей, які працюють від 1100°C до 1250°C.

Конструкцію силіконового човна можна налаштувати відповідно до вимог замовника, включаючи форму планки канавки, довжину зуба канавки, форму, кут нахилу та загальну місткість завантаження пластини. Високотемпературні кремнієві човни можуть ефективно зменшити контактні пошкодження кремнієвих пластин, підвищуючи продуктивність процесу. Його високотемпературна конструкція "башт без ковзання" підтримує пластини лише на кінчику опорного зуба. Порівняно з карбідом кремнію, кремній відносно менш твердий, що зменшує механічні пошкодження пластин, тим самим покращуючи якість решітки та ефективно знижуючи виробничі витрати.

Човен-п’єдестал доступний умонокристалічний або полікристалічний кремнійщоб усунути ризики забруднення, пов’язані з некремнієвими матеріалами. Платформа має той самий хімічний склад, що й пластини, що активно використовуються, що зводить до мінімуму небажані реакції або дифузію іонів під час високотемпературних процесів. Однорідність матеріалу суттєво зменшує фізичну ідентичність частинок і металевих домішок для незмінно високої якості пластини та високої продуктивності пристрою через повторювані виробничі цикли.

Силіконовий човен Semicorex Pedestal Boat має точно розроблені слоти для пластин у поєднанні з вертикальними опорними конструкціями, що гарантує, що пластини залишаються ідеально вирівняними та розташованими під час циклу нагрівання. Його розмірна стабільність є надзвичайною, що гарантує, що човен-п’єдестал не буде деформуватися, згинатися або зміщуватися під час екстремальних температур, забезпечуючи хороший розподіл температури та газу по кожній пластині. Така стабільність розмірів має негайний позитивний вплив на однорідність товщини плівки під час окислення та дифузії та забезпечує меншу кількість дефектів, а також кращу повторюваність процесу.

Головною перевагою силіконового човна є його оптимізовані механічні та термічні властивості. Твердість кремнію порівняно з SiC або кварцом допоможе зменшити мікроподряпини та утворення часток через вібрацію пластини або рух під час нагрітого розширення. Це особливо вірно для пластин, чутливих до задньої сторони, де цілісність поверхні пластини має вирішальне значення для продуктивності та продуктивності пристрою.

Човен-п’єдестал має хорошу теплопровідність і низький коефіцієнт теплового розширення, що забезпечує характеристики теплообміну, зберігаючи форму та міцність конструкції за допомогою кількох циклів нагрівання та охолодження. Надійна конструкція також забезпечує тривалий термін служби з мінімальною деформацією в екстремальних умовах печі.

Semicorex пропонує індивідуальні конструкції для різних конфігурацій обладнання, включаючи діаметр пластини, кількість слотів, висоту підставки та варіації геометрії. Кожен продукт перевіряється на чистоту, вимірюються розміри та тестується на теплопровідність, щоб відповідати найвищим стандартам у процесі виробництва напівпровідників.

Силіконовий п’єдестал-човен сумісний із процесами окислення та дифузії, а також із застосуваннями LPCVD та відпалу, що вимагають неперевершеної рівномірності температури та контролю забруднення. Кремнієвий п’єдестал-човен сумісний з іншими компонентами кремнієвої печі, такими як інжекторна трубка, вкладишна трубка та носій для пластин, зберігаючи відповідність матеріалу та тепла в усій системі обробки.