Покриття SiC – це тонкий шар, нанесений на чутливий елемент за допомогою процесу хімічного осадження з парової фази (CVD). Карбід кремнію має низку переваг перед кремнієм, включаючи 10-кратну напруженість електричного поля пробою, 3-кратну ширину забороненої зони, що забезпечує матеріал стійкістю до високих температур і хімічних речовин, відмінною зносостійкістю, а також теплопровідністю.
Semicorex надає індивідуальне обслуговування, допомагає вам впроваджувати інновації з компонентами, які служать довше, скорочують час циклу та підвищують врожайність.
Покриття SiC має кілька унікальних переваг
Стійкість до високих температур: токоприймач із покриттям CVD SiC може витримувати високі температури до 1600°C без значної термічної деградації.
Хімічна стійкість: покриття з карбіду кремнію забезпечує чудову стійкість до широкого спектру хімічних речовин, включаючи кислоти, луги та органічні розчинники.
Зносостійкість: покриття SiC надає матеріалу чудову зносостійкість, що робить його придатним для застосувань, які передбачають високий рівень зношування.
Теплопровідність: покриття CVD SiC надає матеріалу високу теплопровідність, що робить його придатним для використання в умовах високих температур, які потребують ефективної теплопередачі.
Висока міцність і жорсткість: токоприймач, покритий карбідом кремнію, надає матеріалу високу міцність і жорсткість, що робить його придатним для застосувань, які вимагають високої механічної міцності.
Покриття SiC використовується в різних сферах застосування
Виробництво світлодіодів: CVD SiC-суцептор із покриттям використовується у виробництві різних типів світлодіодів, включаючи сині та зелені світлодіоди, ультрафіолетові світлодіоди та світлодіоди глибокого ультрафіолетового випромінювання, завдяки своїй високій теплопровідності та хімічній стійкості.
Мобільний зв’язок: CVD-SiC-покривний приймач є важливою частиною HEMT для завершення епітаксійного процесу GaN-on-SiC.
Обробка напівпровідників: CVD SiC-суцептор із покриттям використовується в напівпровідниковій промисловості для різних застосувань, включаючи обробку пластин та епітаксійне зростання.
Графітові компоненти з покриттям SiC
Виготовлене з графіту з покриттям з карбіду кремнію (SiC), покриття наноситься методом CVD на певні сорти графіту високої щільності, тому воно може працювати у високотемпературній печі з температурою понад 3000 °C в інертній атмосфері та 2200 °C у вакуумі. .
Особливі властивості та невелика маса матеріалу забезпечують швидкий нагрів, рівномірний розподіл температури та виняткову точність контролю.
Матеріальні дані покриття Semicorex SiC
Типові властивості |
одиниці |
Цінності |
Структура |
|
FCC β фаза |
Орієнтація |
частка (%) |
111 бажано |
Насипна щільність |
г/см³ |
3.21 |
Твердість |
Твердість за Віккерсом |
2500 |
Теплоємність |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Теплове розширення 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6К-1 |
4.5 |
Модуль Юнга |
Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃) |
430 |
Розмір зерна |
мкм |
2~10 |
Температура сублімації |
℃ |
2700 |
Згинальна сила |
МПа (RT 4 точки) |
415 |
Теплопровідність |
(Вт/мК) |
300 |
Висновок Токоприймач із CVD SiC покриттям є композиційним матеріалом, що поєднує в собі властивості токоприймача та карбіду кремнію. Цей матеріал володіє унікальними властивостями, включаючи високу температурну і хімічну стійкість, відмінну зносостійкість, високу теплопровідність, а також високу міцність і жорсткість. Ці властивості роблять його привабливим матеріалом для різних високотемпературних застосувань, включаючи обробку напівпровідників, хімічну обробку, термічну обробку, виробництво сонячних батарей і світлодіодів.
Підвищте ефективність і точність ваших напівпровідникових епітаксійних процесів за допомогою передового кільця Epi Pre Heat Ring Semicorex. Виготовлене з високою точністю з графіту з покриттям SiC, це передове кільце відіграє ключову роль в оптимізації вашого епітаксійного росту шляхом попереднього нагрівання технологічних газів перед тим, як вони потраплять у камеру.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex SiC Parts Abdeck Segmenten, важливий компонент у виробництві напівпровідникових пристроїв, який переосмислює точність і довговічність. Виготовлені з графіту з покриттям SiC, ці маленькі, але важливі деталі відіграють ключову роль у просуванні напівпровідникової обробки на новий рівень ефективності та надійності.
ДетальнішеНадіслати запитПланетарний диск Semicorex, графітовий пластинчастий фіксатор або носій із карбідом кремнію, призначений для процесів молекулярно-променевої епітаксії (MBE) у печах металоорганічного хімічного осадження з парової фази (MOCVD). Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитРозкрийте вершину точності у виробництві напівпровідників за допомогою нашого передового CVD SiC Pancake Susceptor. Цей дископодібний компонент, спеціально розроблений для напівпровідникового обладнання, служить ключовим елементом для підтримки тонких напівпровідникових пластин під час процесів високотемпературного епітаксійного осадження. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитПідвищте можливості та ефективність свого напівпровідникового обладнання за допомогою наших революційних напівпровідникових SiC компонентів для епітаксіальних. Ці напівциліндричні компоненти спеціально розроблені для впускної секції епітаксіальних реакторів, відіграючи вирішальну роль в оптимізації процесів виробництва напівпровідників. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитПідвищте функціональність і ефективність своїх напівпровідникових пристроїв за допомогою нашої передової епітаксіальної частини Half Parts Drum Products. Спеціально розроблений для вхідних компонентів реактора LPE, цей напівциліндричний аксесуар відіграє ключову роль в оптимізації ваших напівпровідникових процесів.
Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.