Кераміка з карбіду кремнію (SiC) — це передовий керамічний матеріал, що містить кремній і вуглець. Зерна карбіду кремнію можна з’єднати разом шляхом спікання з утворенням дуже твердої кераміки. Semicorex постачає на замовлення кераміку з карбіду кремнію відповідно до ваших потреб.
Додатки
З керамікою з карбіду кремнію властивості матеріалу залишаються постійними до температур вище 1400°C. Високий модуль Юнга > 400 ГПа забезпечує чудову стабільність розмірів.
Типовим застосуванням компонентів з карбіду кремнію є технологія динамічного ущільнення з використанням підшипників ковзання та механічних ущільнень, наприклад, у насосах і системах приводу.
Завдяки вдосконаленим властивостям карбідокремнієва кераміка також ідеально підходить для використання в напівпровідниковій промисловості.
Вафельні кораблики →
Semicorex Wafer Boat виготовлено зі спеченої кераміки карбіду кремнію, яка має гарну стійкість до корозії та відмінну стійкість до високих температур і термічного удару. Удосконалена кераміка забезпечує чудову термостійкість і стійкість до плазми, водночас пом’якшуючи частки та забруднювачі для носіїв пластин великої ємності.
Реакція спеченого карбіду кремнію
Порівняно з іншими процесами спікання, зміна розміру реакційного спікання під час процесу ущільнення є невеликою, і можна виготовляти продукти з точними розмірами. Однак наявність великої кількості SiC в спеченому тілі погіршує високотемпературні характеристики реакційно спеченої кераміки SiC.
Спечений без тиску карбід кремнію
Спечений без тиску карбід кремнію (SSiC) є надзвичайно легкою та водночас твердою високоефективною керамікою. SSiC характеризується високою міцністю, яка залишається практично постійною навіть при екстремальних температурах.
Рекристалічний карбід кремнію
Перекристалізований карбід кремнію (RSiC) — це матеріали наступного покоління, утворені шляхом змішування грубого порошку карбіду кремнію високої чистоти та дрібного порошку високоактивного карбіду кремнію, а після цементації — вакуумного спікання при 2450 °C для рекристалізації.
Semicorex надає напівпровідникову кераміку для ваших OEM-інструментів для напівфабрикатів і компонентів обробки пластин. Протягом багатьох років ми є виробником і постачальником плівки для покриття з карбіду кремнію. Наша керамічна втулка осі має хорошу цінову перевагу та охоплює більшість європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex надає напівпровідникову кераміку для ваших OEM-інструментів для напівфабрикатів і компонентів обробки пластин. Протягом багатьох років ми є виробником і постачальником плівки для покриття з карбіду кремнію. Наша втулка для осі SiC має хорошу цінову перевагу та охоплює більшість європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитУдосконалені високочисті компоненти з покриттям з карбіду кремнію Semicorex розроблені таким чином, щоб витримувати екстремальні навколишні умови під час обробки пластин. Наш напівпровідниковий пластинчастий патрон має хорошу цінову перевагу та охоплює багато європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитНадчисті керамічні компоненти Semicorex, які ідеально підходять для літографії нового покоління та роботи з пластинами, забезпечують мінімальне забруднення та надзвичайно тривалий термін служби. Наш вафельний вакуумний патрон має гарну цінову перевагу та охоплює багато європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитМіцні кільця фокусування Semicorex для обробки напівпровідників розроблені таким чином, щоб витримувати екстремальні навколишні умови камер плазмового травлення, які використовуються в обробці напівпровідників. Наші фокусні кільця виготовлені з графіту високої чистоти, покритого щільним, зносостійким покриттям з карбіду кремнію (SiC). Покриття SiC має високі корозійні та термостійкі властивості, а також чудову теплопровідність. Ми наносимо SiC тонкими шарами на графіт за допомогою процесу хімічного осадження з парової фази (CVD), щоб подовжити термін служби наших кілець фокусування.
ДетальнішеНадіслати запитКільце фокусування плазмової обробки Semicorex спеціально розроблено для задоволення високих вимог обробки плазмовим травленням у напівпровідниковій промисловості. Наші вдосконалені високочисті компоненти з покриттям з карбіду кремнію створені для роботи в екстремальних умовах і підходять для використання в різних сферах застосування, включаючи шари карбіду кремнію та епітаксійні напівпровідники.
ДетальнішеНадіслати запит