Силіконові кільця для травлення

Силіконові травильні кільця є основними компонентами в камері плазмового травлення обладнання CCP/ICP і зазвичай розміщуються навколо напівпровідникової пластини. Їх основні функції полягають у підтримці напівпровідникової пластини, підтримці рівномірного розподілу плазми, захисті краю пластини та, таким чином, сприянні створенню оптимальних робочих умов для процесу плазмового травлення.

Переваги силіконових травильних кілець Semicorex

1. Вибір матеріалу преміум-класу

Силіконові кільця для травлення Semicorex виготовляються з ретельно відібраного MCZ високої чистотимонокристалічний кремній, який має наступні чудові властивості порівняно зі звичайним монокристалічним кремнієм CZ.

Висока чистота: Чистота становить понад 99,9999999%, що означає, що кремнієві кільця для травлення Semicorex майже не містять домішок. Ця надвисока чистота може ефективно уникнути перешкод від домішок компонентів під час процесу травлення, тим самим гарантуючи високу точність травлення.

Стабільна структура: Монокристалічний кремній MCZ має чудову кристалічну структуру з меншою кількістю дефектів, ніж звичайний монокристалічний кремній CZ. Ця стабільна кристалічна структура надає кремнієвим кільцям для травлення Semicorex підвищену корозійну стійкість до плазмової корозії та дозволяє їм витримувати суворі робочі умови травлення.

Відмінна однорідність питомого опору:Силіконові травильні кільця Semicorexзабезпечують виняткову однорідність опору з RRG < 5%. Низька роздільна здатність (<0,02 Ω·см), середня рез. (0,2–25 Ом·см), висока роздільна здатність (>100 Ом·см). Ця чудова однорідність питомого опору може мінімізувати нерівномірний розподіл плазми, викликаний надмірно високим або низьким питомим опором, що сприяє створенню ідеального електричного поля для високоточного плазмового травлення.

2. Точна обробка та суворий контроль якості

Semicorex може похвалитися досвідченою технічною командою, яка може надати індивідуальні налаштування та технічні оцінки для наших цінних клієнтів, а також встановила систематичні процедури обробки та перевірки, щоб гарантувати якість продукції.

Гнучкі послуги з налаштування: Semicorex підтримує налаштування на основі креслень замовника, а максимальний індивідуальний діаметр силіконових кілець для травлення може становити до 470 мм.

Високоякісна обробка поверхні: точність полірування можна суворо контролювати в межах Ra < 0,1 мкм, а тонке шліфування забезпечує обробку поверхні Ra > 0,1 мкм.

Сувора перевірка якості: вимірювання розмірів, тестування питомого опору та візуальний огляд будуть проведені, щоб переконатися, що кремнієві кільця для травлення не містять сколів, подряпин, тріщин, плям та інших дефектів.