Монокристалічні кремнієві електроди

Монокристалічні кремнієві електродизазвичай встановлюються у верхній частині камери травлення, слугуючи верхнім електродом. Поверхня монокристалічних кремнієвих електродів має рівномірно розподілені мікроотвори, які можуть рівномірно подавати травильний газ у реакційну камеру. Під час процесу травлення вони працюють з нижнім електродом для створення рівномірного електричного поля, що сприяє створенню ідеальних робочих умов для точного травлення.

Ретельний відбір матеріалів

Semicorex вибирає монокристалічний кремній преміум-класу, вирощений MCZ, для виробництва монокристалічних кремнієвих електродів, пропонуючи найкращі в галузі продуктивність і якість продукції.

1. Надвисока чистота

Монокристалічні кремнієві електроди Semicorex мають надвисоку чистоту понад 99,9999999%, що означає надзвичайно низький вміст внутрішніх металевих домішок.

2. Виняткова однорідність опору

На відміну від звичайного монокристалічного кремнію CZ, монокристалічний кремній, вирощений MCZ, який використовується Semicorex, досягає рівномірності питомого опору нижче 5%. Його низька роздільна здатність. контролюється нижче 0,02 Ом·см, середня рез. становить від 0,2 до 25 Ом·см, а висока роздільна здатність. становить 70-90 Ω·см (налаштування доступне за запитом).

3. Відмінна структура матеріалу

Монокристалічний кремній, вирощений за допомогою методу MCZ, забезпечує більш стабільну структуру та менше дефектів, завдяки чому монокристалічні кремнієві електроди Semicorex забезпечують чудову стійкість до плазмової корозії та витримують суворі робочі умови травлення.

---

Висока стандартна точність обробки

Напівкорексмонокристалічний кремнійелектроди виготовляються через повний виробничий процес від зливка кремнію до готового продукту, включаючи нарізку, шліфування поверхні, свердління отворів, вологе травлення та полірування поверхні. Semicorex підтримує суворий контроль точності на кожному етапі, щоб гарантувати, що діаметр, товщина, площинність поверхні, відстань між отворами та апертура електродів підтримуються в межах ідеальних допусків.

1. Обробка мікроотворів

Мікроотвори на монокристалічних кремнієвих електродах мають однакову відстань і постійний діаметр (від 0,2 до 0,8 мм), з гладкими внутрішніми стінками без задирок. Це ефективно гарантує рівномірну та стабільну подачу травильного газу, таким чином забезпечуючи рівномірність і точність травлення пластин.

2. Точність обробки

Точність обробки монокристалічних кремнієвих електродів Semicorex контролюється в межах 0,3 мм, точність їх полірування може суворо контролюватися нижче 0,1 мкм, а тонке шліфування становить менше 1,6 мкм.